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4200-SCS型半導体特性評価システムは、それぞれ最大7台のSMUを追加できるため、合計9台のSMUを構成できます。 4200-SCS型では、2種類のSMUモジュールを利用できます。4200-SMU型はミディアム・パワー(100 mA、2W)対応、4210-SMU型はハイ・パワー(1 A、20 W)対応です。 4200-SCS型システムでは、最大9個のハイ・パワーSMUをインストールできます。