ケースレー自動特性評価スイート（ACS）ソフトウェア

ACSのウエハ・プローバ自動化オプションを使用することで、さまざまなタイプの半自動／全自動ウエハ・プローバに対応できるため、簡単にテストをセットアップでき、大量のデータをすばやく取込むことも可能です。このオプションには、ウエハ記述ユーティリティ、ビニング機能を備えたリアルタイム・ウエハ・マップ、カセット・サンプル・プラン・ユーティリティ、テスト後のカセット／ウエハ・レビュー・ユーティリティが含まれています。ACSに組み込まれた多くのツールや機能を活用することで、デバイスの自動特性評価機能を拡張できます。

ACSのツールは、テスト開発を簡素化し、システムにリンクされているすべてのケースレー機器の速度を最大化します。ACSとケースレーのTSPベースのハードウェアを組み合わせることで、新しいプログラミングの概念や言語の学習に時間を費やすことなく、目標を達成するために必要なデータを取得できます。その結果、テストのコストを削減でき、業界最高のテスト・スループットが達成できます。

ACSベースの統合テストシステムは、パラメトリック・ダイ・ソート、ハイパワー半導体コンポーネントの特性評価、ウエハ・レベルの信頼性テストなどのアプリケーションに最適なソリューションです。半自動／全自動プローバと適切に組み合わせることで、ハードウェアのコンフィグレーションやテスト・プロジェクトの開発を、特定のタスクに合わせて簡単に最適化できます。

ACS Basic EditionおよびACS Standard Editionソフトウェアは、半導体ワークフロー全体に対応した広範なテストを実施できるため、半導体デバイスの詳細な特定評価に最適です。ACS BasicおよびACS Standardが統合されたテスト・システムは、以下の特長を備えています。

• デバイス、ウエハ、カセット・レベルでのテスト
• 柔軟なコンフィグレーション、ソフトウェア、アプリケーションのカスタマイズ
• インタラクティブで自動化されたシステム操作
• GUIツールとスクリプト・ツールの強力な組み合わせによるテスト・モジュール開発

ACS Standard Editionソフトウェアは、堅牢なプロセス開発やウエハ・レベルの信頼性（WLR）などの半自動ウエハ・テストを統合するフェーズで使用されます。このソフトウェアは、SMU-per-pin方式のシステム・レベル・テストに使用できます。ACS WLRソフトウェアには、以下のような特長があります。

• 個々のウエハまたはカセット全体をテストする完全自動化機能
• 柔軟なテスト・セットアップと並列テストに対応したソフトウェア
• JEDECの標準テスト手法に準拠した信頼性テスト・モジュール（RTM）
• カスタマイズされたテスト・モジュール／手順の作成が可能