ケースレー自動特性評価スイート（ACS）ソフトウェア
ケースレー自動特性評価スイート（ACS）ソフトウェア
ACSは、半導体デバイスの特性評価、信頼性テスト、パラメトリック・テスト、およびコンポーネント機能テスト用に設計された柔軟かつインタラクティブなソフトウェア・テスト環境です。ACSは、ケースレーのS500およびS530システムと同様に、広範なケースレー機器をサポートしています。テストや解析の柔軟性が高く、直感的なGUIを採用しているため、経験の浅いユーザでもすぐに生産性を高めることができます。
- 直感的なGUIが採用されているため、テスト・プランの開発、テストの実行、および結果の解析が容易です。
- デバイス、サイト、ウエハ、カセットの各レベルでテストを開発して実行できます。
- マルチSMU並列テスト・システムを含め、幅広い機器やシステム構成をサポートしています。
- 半自動／全自動プローバを完全に制御できます。
- インタラクティブなリアルタイム・データ・プロット機能を搭載しています。
| 型名 | 概要 | 価格 |
|---|---|---|
| ACS-BASIC | ACS Basicエディションは、主に手動プローブ・ステーションまたはテスト・フィクスチャによる半導体コンポーネント・テスト向けです。初期デバイス特性評価を"トレース・モード"で迅速かつインタラクティブに行うことができます。また、GUIベースのセットアップ画面および広範な測定ライブラリを使用して、詳細なパラメータ抽出テストを作成できます。 | - |
| ACS. | ACSは、ウエハ全体を対象として半導体デバイスの測定を実行できるよう広範な半自動／全自動プローバをサポートしています。 また、プローバをインタラクティブに制御して個々のデバイスをテストできます。 実行時に個別デバイスの結果および複数デバイスの統計に基づいてテスト進捗を監視できます。 | - |
型名
ACS-BASIC
価格
-
概要
ACS Basicエディションは、主に手動プローブ・ステーションまたはテスト・フィクスチャによる半導体コンポーネント・テスト向けです。初期デバイス特性評価を"トレース・モード"で迅速かつインタラクティブに行うことができます。また、GUIベースのセットアップ画面および広範な測定ライブラリを使用して、詳細なパラメータ抽出テストを作成できます。
型名
ACS.
価格
-
概要
ACSは、ウエハ全体を対象として半導体デバイスの測定を実行できるよう広範な半自動／全自動プローバをサポートしています。 また、プローバをインタラクティブに制御して個々のデバイスをテストできます。 実行時に個別デバイスの結果および複数デバイスの統計に基づいてテスト進捗を監視できます。
ACSとは
ACSは、さまざまなテストを通して半導体デバイスの詳細な特性評価を行うエンジニア向けの強力なソフトウェア・フレームワークです。 ケースレーの業界トップクラスの各種SMU機器／システムとACSを組み合わせて使用します。 標準ACSでは、ウエハ・レベルまたはカセット・レベルでテストを自動化し、自動プローバを制御できます。 手動でのテストまたは単一デバイスのテストには、ACS Basicエディションの使用をご検討ください。 また、高度なマルチDUTウエハ・レベル信頼性（WLR）の場合、ACS-2600-RTMオプションで標準ACSを使用してください。 または、さまざまなアプリケーション、測定ハードウェア、およびACS機能について、詳しくご覧ください。
コンポーネントの特性評価
MOSFET、バイポーラ・トランジスタ、ダイオード、ハイパワーIGBTなど、個々の半導体コンポーネントを対象とした綿密なテストを各種作成し、その測定結果と共に管理できます。 ケースレーの広範な測定機能とその説明については、下記を参照してください。
測定機能
ACSソフトウェア
ACS Basicソフトウェア
2600Bシリーズ・システム・ソースメータ
2650Aシリーズ・ハイパワー・システム・ソースメータ
パラメトリック
カーブ・トレーサ
パラメータ・アナライザ4200-SCS型
S500シリーズ統合
テスト・システム
左側の測定機能をクリックすると、その説明が表示されます。
ACSソフトウェア
ACSは、ウエハ全体を対象として半導体コンポーネントの測定を実行できるよう広範な半自動／全自動プローバをサポートしています。 また、プローバをインタラクティブに制御して個々のデバイスをテストできます。 実行時に個別デバイスの結果および複数デバイスの統計に基づいてテスト進捗を監視できます。
ACS Basicエディション・ソフトウェア
ACS Basicエディションは、主に手動プローブ・ステーションまたはテスト・フィクスチャによる半導体コンポーネント・テスト向けです。 初期デバイス特性評価を"トレース・モード"で迅速かつインタラクティブに行うことができます。 また、GUIベースのセットアップ画面および広範な測定ライブラリを使用して、詳細なパラメータ抽出テストを作成できます。 リアルタイムの結果をACS Basic自体ですばやく解析することも、その他のオフライン解析ツールにエクスポートすることもできます。
2600Bシリーズ・システム・ソースメータ
2600Bシリーズ・ソースメータは、デュアルチャンネル・ユニットを搭載しているため、MOSFETやBJTなどのマルチ端子半導体のテストに最適です。また、ケースレーのTSP-Link®により、SMU機器間の協調的制御や正確なタイミングが保証されます。2600シリーズから、特定の電圧／電流仕様を満たすものを選択してください。詳細については、 ここ をクリックしてください。
2650Aシリーズ・ハイパワー・システム・ソースメータ
2650Aシリーズ・ハイパワー・ソースメータはさまざまなテスト構成で使用できます。3kVまたは50Aパルス、最大2,000Wパルスまたは200W DCの供給／測定に対応しています。さらに、クラス最高の低電流性能を有しており、優れたリーク測定が可能です。これよりも低パワーの2600Bシリーズ・ソースメータとの統合システム構成には、ケースレーのTSP-Link®を使用します。詳細については、 ここ をクリックしてください。
PCT構成
ケースレーのパラメトリック・カーブ・トレーサは、高性能機器、ケーブル、テスト・フィクスチャ、ソフトウェアなど、パワー・デバイスを対象とした完全な特性評価ソリューションです。 7つの構成が用意されており、どの構成についても、破壊電圧などの基本的なデバイス・パラメータをすばやくチェックするためのリアルタイム・トレース・モードと正確なデバイス・パラメータを抽出するためのフル・パラメトリック・モードの両方に対応しています。
4200-SCS型パラメータ・アナライザ
4200-SCS型パラメータ・アナライザの200V/1A SMUおよび400V C-V機能は、半導体コンポーネントの特性評価に適しています。4200-SCSと2650Aシリーズ・ハイパワー・ソースメータを連携させて、最大3kVまたは50Aまでテストできます。ACS Basicエディション・ソフトウェアを使用すると、このレンジのケースレー機能を対象としたテストを作成して実行できます。詳細については、 ここ をクリックしてください。
S500シリーズ統合テスト・システム
S500シリーズ統合テスト・システムは、ケースレーのフル・ターンキー・ソリューションです。これらのシステムは構成の自由度が高く、技術開発テスト・ステーション向けに豊富な測定機能を搭載することができます。S500シリーズ・システムとACSの自動化機能を組み合わせることにより、自動ウエハ・プローバによる高スループットの複数デバイス・テストが可能になります。詳細については、 ここ をクリックしてください。
| データ・シート | アクセサリ | 説明 |
|---|---|---|
| ACS-2600-RTM | ACS向け信頼性テスト・オプション |
| ACS Basic エディション ACS統合システム −半導体/電子部品の特性評価 データシート | データシート | 12 Apr 2019 |