ケースレー・パラメトリック・テスト・システム

S530型パラメトリック・テスト・システム は、幅広いデバイスや技術を扱う必要がある製造環境やラボ環境向けに設計されており、テスト・プランの柔軟性、自動化、プローブ・ステーション統合、テスト・データ管理について業界トップクラスの性能を有しています。ケースレーは、30年以上にわたって各種規格やカスタム・パラメトリック・テストを世界各地のお客様に提供してきており、その際培った専門技術をこれらのテスト・ソリューションの設計に生かしています。

S535型マルチサイト・ウエハ許容テスト・システム は、ハイ・パワー、高分解能のウエハレベル・ソリューションであり、半導体製造分野全般におけるアナログ/パワー/ミックスドシグナル/ディスクリート・デバイスのテストに最適です。複数のデバイスのテストを1つのサイトで同時に行っていた、従来からの非同期並列テストの方式と異なり、S535型のマルチ/並列テストでは、複数サイトで複数のデバイスのテストを同時に行います。プローバでのインデックス・タイムが少なくとも2分の1に短縮されるため、半導体製造の生産性を高め、コストを削減することができます。

540型パラメトリック・テスト・システム は、完全自動、48ピン対応のパラメトリック・テスト・システムであり、最高3kVのパワー半導体デバイスのウエハレベルのテストが行えます。S540型は、SiC(炭化ケイ素)、GaN(窒化ガリウム)など、最新の化合物パワー半導体材料での使用に最適であり、一度のプロービングで高電圧、低電圧、容量テストがすべて実行できます。

S500シリーズ統合テスト・システム は、構成の自由度が高い機器ベースのシステムとして提供されており、デバイス、ウエハ、またはカセット・レベルでの半導体特性評価に対応しています。S500シリーズ統合テスト・システムは、当社の実証済みの機器技術をベースに構築されており、お客様のニーズを満たす革新的な測定機能および柔軟性を兼ね備えています。独自の測定機能に加え、強力かつ柔軟な自動特性評価(ACS)ソフトウェアが用意されており、市場に出回っている他の類似製品にはない包括的なアプリケーションおよび機能を利用できます。 

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Keithley Parametric Test Systems

S530型の特長

  • 新しいデバイスおよびテスト要件への優れた適応性
  • 高速かつ柔軟でインタラクティブなテスト・プラン開発
  • 代表的な全自動プローブ・ステーションに対応
  • 1 kV、C-V、パルス生成、周波数測定、および低電圧測定用のオプション
  • ケースレーの9139A型プローブ・カード・アダプタに対応
  • 既存の5インチ・プローブ・カード・ライブラリの再利用に対応
  • 実証済みの機器技術 - ラボとファブの両方において優れた測定確度および再現性を保証

S535型の主な特長

  • ウエハレベルのすべてのDCパラメトリック・テストの自動実行が可能(マルチサイトの並列テストにも直列操作にも対応)一度のプロービングで2または4サイトのテストが可能
  • 最大64ピンに対応:4サイトの並列テスト、16ピン/サイト; 2サイトの並列テスト、32ピン/サイト; シングルサイトの直列操作、64ピン
  • 最大100W:100V @ 1 A; 200V @ 100mA
  • 高速、マルチピン、全自動テスト環境において1fA、10nVの分解能
  • Linuxベースのケースレー・テスト環境(KTE)システム・ソフトウェアによるテスト開発の簡易化と実行の高速化(旧式のケースレー・テスト・システムでも使用可能)
  • ケースレーS530型プローブ・カード・インフラストラクチャは旧式のS400シリーズのアプリケーションもサポート

S540型の特長

  • ケーブルまたはプローブ・カード・インフラストラクチャの変更なしに、一度のプロービングで最大48ピンに対応したウエハレベルのパラメトリック・テスト(高電圧ブレークダウン、容量、低電圧などの測定)がすべて自動的に実行可能
  • テスト・ピンを手動で再構成することなく、Ciss、Coss、Crssなどのトランジスタ容量を最高3kVまで測定可能
  • マルチピンの高速な完全自動化テスト環境においても、優れた性能による低レベル測定が可能
  • Linuxベースのケースレー・テスト環境(KTE)システム・ソフトウェアによるテスト開発の簡易化と実行の高速化
  • プロセス統合、プロセス制御モニタリング、ダイソートなどの全自動または半自動アプリケーションに最適
  • テスト時間およびテスト・セットアップ時間の短縮と設置スペースの縮小により、総所有コストを削減すると同時に、ラボグレードの測定性能を実現

S500シリーズの特長

  • フェムトアンペア未満の測定にも対応したフルレンジのソース・メジャー・ユニット(SMU)機器の仕様 - ほぼすべてのデバイスに対して幅広い測定が可能。
  • パルス生成および超高速I-V - メモリ特性評価、電荷ポンピング、シングルパルスPIV(電荷トラップ解析)、PIVスイープ(自己発熱回避)に対応
  • 少/多チャンネル数システム - 並列テストに対応し、ケースレーのシステム・イネーブリング/拡張可能SMU機器を搭載。
  • 高電圧、大電流、ハイパワーのソース・メジャー機器 - パワーMOSFETやディスプレイ・ドライバなどのデバイスのテストに対応。
  • スイッチング、プローブ・カード、ケーブル一体型 - DUTの測定が容易
Measuring MOSFET Gate Charge Using the S530 and S540 Parametric Test Systems
This application note describes how to make gate charge measurements on a MOSFET based on the JEDEC Gate Charge Test Method.

文書番号: 1KW-61389-0
アプリケーション・ノート
S535 Multi-Site Wafer Acceptance Test System

文書番号: 1KW-61422-0
Datasheet
S500 Data Sheet
Datasheet
KIGEM Automation Software Release Notes
The release notes for KIGEM 5.7.2b.

Keithley Instruments 300mm SECS/GEM Automation Interface (KIGEM) on the S530 Parametric Test system provides an interface that complies with both the traditional SECS/GEM standards and the newer set of 300mm SEMI standards. It allows S530 systems to be integrated into fully-automated semiconductor fabrication facilities.


部品番号: KIGEM-910-01B
リリース・ノート
S530-S535-S540 KTE 5.8.2 Release Notes

This document contains information on enhancements, critical and noncritical fixes, and known issues for each released version of the Keithley Test Environment (KTE) software.


部品番号: PA-1036V
リリース・ノート
Greater Reliability Testing Confidence from Lab to Fab - Wafer Level Reliability Test Solutions
Keithley Instruments has long been an industry leader in both overall parametric test technology and wafer level reliability (WLR) testing. Several generations of Keithley’s parametric test solutions have offered WLR test algorithm libraries as …
ポスター
Achieving Maximum Throughput with Keithley S530 Parametric Test Systems
Keithley Instruments is a world leader in the development of precision DC electrical instruments and integrated parametric test systems. Its expertise in parametric test technology goes back to the early days of the semiconductor industry and …
アプリケーション・ノート
Wafer Level Reliability Systems
パンフレット
Programming and Erasing Flash Memory Devices Using the Keithley S530 Pulse Generator Option
アプリケーション・ノート
Test Methods for Automobile Communication and Control Systems
ファクト・シート
Understanding Control Systems and Communications for Today's Automobiles
ファクト・シート
Performing van der Pauw Sheet Resistance Measurements Using the Keithley S530 Parametric Tester
アプリケーション・ノート
Multi-Site Parallel Testing with the S535 Wafer Acceptance Test System
In semiconductor wafer production, minimizing the cost of test has been identified as the number one challenge.  The biggest factor in the cost of test, as well as in the cost of test system ownership, is throughput of the tester/prober combination …

文書番号: 1KW-61423-0
アプリケーション・ノート
Making Ring Oscillator Measurements with the Model S530 Parametric Test System's Frequency Measurement Option
アプリケーション・ノート
Touch, Test, Invent with the Next Generation Current and Voltage Source-Measure Instruments
ファクト・シート
High Voltage Wafer Testing in a Production Environment with the HV S540 Parametric Test System

文書番号: 1KW-60936-2
アプリケーション・ノート
9139B Probe Card Adapter Gerber Files
項目
9140A Probe Card Adapter Gerber Files
項目
S530 Parametric Test System Specifications
S530 Parametric Test System Specifications

文書番号: SPEC-S530D
項目
S530 Parametric Test Systems with KTE - Quick and Seamless Integration with Existing S400 and S600 Systems
パンフレット
S535 Wafer Acceptance Test System Specifications
Specifications document for S535 Wafer Acceptance Test System

文書番号: SPEC-S535A
項目
S530 Semiconductor Parametric Test System: Cost effective, high throughput solutions
ファクト・シート
S540 Power Semiconductor Test System Specifications
Specifications document for S540 Power Semiconductor Test System

文書番号: SPEC-S540A
項目
Gearing Up for Parametric Test's High Voltage Future
ホワイトペーパー
S540型パワー半導体テスト・システム - データ・シート
The Keithley S540 is a fully-automated, wafer-level parametric test system that can perform all high voltage, low voltage, low current, and capacitance tests up to 3kV in a single probe touch-down to maximize productivity and minimize cost of …

文書番号: 1KZ-60909-1
Datasheet
S530 パラメトリック試験システム データシート

文書番号: 1KZ-60240-2
Datasheet
9139B Probe Card Adapter
The 9139B-PCA Probe Card Adapter is an option for Keithley’s S530 and S535 Parametric Test Systems and S500 Integrated Test Systems.  It also provides probe-card compatibility with Keithley’s previous generation S400 Parametric Test System.

文書番号: 1KW-61585-0
Datasheet
S530 KTE Pulse Generator Manual
S530 KTE Pulse Generator Manual