ケースレー・パラメトリック・テスト・システム

ケースレー・パラメトリック・テスト・システム

S530型パラメトリック・テスト・システム は、幅広いデバイスや技術を扱う必要がある製造環境やラボ環境向けに設計されており、テスト・プランの柔軟性、自動化、プローブ・ステーション統合、テスト・データ管理について業界トップクラスの性能を有しています。ケースレーは、30年以上にわたって各種規格やカスタム・パラメトリック・テストを世界各地のお客様に提供してきており、その際培った専門技術をこれらのテスト・ソリューションの設計に生かしています。

S535型マルチサイト・ウエハ許容テスト・システム は、ハイ・パワー、高分解能のウエハレベル・ソリューションであり、半導体製造分野全般におけるアナログ/パワー/ミックスドシグナル/ディスクリート・デバイスのテストに最適です。複数のデバイスのテストを1つのサイトで同時に行っていた、従来からの非同期並列テストの方式と異なり、S535型のマルチ/並列テストでは、複数サイトで複数のデバイスのテストを同時に行います。プローバでのインデックス・タイムが少なくとも2分の1に短縮されるため、半導体製造の生産性を高め、コストを削減することができます。

540型パラメトリック・テスト・システム は、完全自動、48ピン対応のパラメトリック・テスト・システムであり、最高3kVのパワー半導体デバイスのウエハレベルのテストが行えます。S540型は、SiC(炭化ケイ素)、GaN(窒化ガリウム)など、最新の化合物パワー半導体材料での使用に最適であり、一度のプロービングで高電圧、低電圧、容量テストがすべて実行できます。

S500シリーズ統合テスト・システム は、構成の自由度が高い機器ベースのシステムとして提供されており、デバイス、ウエハ、またはカセット・レベルでの半導体特性評価に対応しています。S500シリーズ統合テスト・システムは、当社の実証済みの機器技術をベースに構築されており、お客様のニーズを満たす革新的な測定機能および柔軟性を兼ね備えています。独自の測定機能に加え、強力かつ柔軟な自動特性評価(ACS)ソフトウェアが用意されており、市場に出回っている他の類似製品にはない包括的なアプリケーションおよび機能を利用できます。 

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ケースレー・パラメトリック・テスト・システム

S530型の特長

  • 新しいデバイスおよびテスト要件への優れた適応性
  • 高速かつ柔軟でインタラクティブなテスト・プラン開発
  • 代表的な全自動プローブ・ステーションに対応
  • 1 kV、C-V、パルス生成、周波数測定、および低電圧測定用のオプション
  • ケースレーの9139A型プローブ・カード・アダプタに対応
  • 既存の5インチ・プローブ・カード・ライブラリの再利用に対応
  • 実証済みの機器技術 - ラボとファブの両方において優れた測定確度および再現性を保証

S535型の主な特長

  • ウエハレベルのすべてのDCパラメトリック・テストの自動実行が可能(マルチサイトの並列テストにも直列操作にも対応)一度のプロービングで2または4サイトのテストが可能
  • 最大64ピンに対応:4サイトの並列テスト、16ピン/サイト; 2サイトの並列テスト、32ピン/サイト; シングルサイトの直列操作、64ピン
  • 最大100W:100V @ 1 A; 200V @ 100mA
  • 高速、マルチピン、全自動テスト環境において1fA、10nVの分解能
  • Linuxベースのケースレー・テスト環境(KTE)システム・ソフトウェアによるテスト開発の簡易化と実行の高速化(旧式のケースレー・テスト・システムでも使用可能)
  • ケースレーS530型プローブ・カード・インフラストラクチャは旧式のS400シリーズのアプリケーションもサポート

S540型の特長

  • ケーブルまたはプローブ・カード・インフラストラクチャの変更なしに、一度のプロービングで最大48ピンに対応したウエハレベルのパラメトリック・テスト(高電圧ブレークダウン、容量、低電圧などの測定)がすべて自動的に実行可能
  • テスト・ピンを手動で再構成することなく、Ciss、Coss、Crssなどのトランジスタ容量を最高3kVまで測定可能
  • マルチピンの高速な完全自動化テスト環境においても、優れた性能による低レベル測定が可能
  • Linuxベースのケースレー・テスト環境(KTE)システム・ソフトウェアによるテスト開発の簡易化と実行の高速化
  • プロセス統合、プロセス制御モニタリング、ダイソートなどの全自動または半自動アプリケーションに最適
  • テスト時間およびテスト・セットアップ時間の短縮と設置スペースの縮小により、総所有コストを削減すると同時に、ラボグレードの測定性能を実現

S500シリーズの特長

  • フェムトアンペア未満の測定にも対応したフルレンジのソース・メジャー・ユニット(SMU)機器の仕様 - ほぼすべてのデバイスに対して幅広い測定が可能。
  • パルス生成および超高速I-V - メモリ特性評価、電荷ポンピング、シングルパルスPIV(電荷トラップ解析)、PIVスイープ(自己発熱回避)に対応
  • 少/多チャンネル数システム - 並列テストに対応し、ケースレーのシステム・イネーブリング/拡張可能SMU機器を搭載。
  • 高電圧、大電流、ハイパワーのソース・メジャー機器 - パワーMOSFETやディスプレイ・ドライバなどのデバイスのテストに対応。
  • スイッチング、プローブ・カード、ケーブル一体型 - DUTの測定が容易

型名

S540型パワー半導体テスト・システム - データ・シート
S540型パワー半導体テスト・システムThe Keithley S540 is a fully-automated, wafer-level parametric test system that can perform all high voltage, low voltage, low current, and capacitance tests up to 3kV in a single probe touch-down to maximize productivity and minimize cost of ownership.
部品番号: 1KZ-60909-1
データシート 06 May 2019
S530 パラメトリック試験システム データシート

部品番号: 1KZ-60240-2
データシート 06 May 2019
S530型・S530-HV型 パラメトリック・テスト・システム データ・シート
ケースレーのS530型、S530-HV型パラメトリック・テスト・シス テムは、実績のあるソース/メジャー技術により、プロセス制御 モニタリング、プロセス信頼性モニタリング、デバイス特性評価 で必要となるすべてのDC測定、C-V測定が行えます
部品番号: 1KZ-60240-2
データシート
S530 KTE Pulse Generator Manual
KIGEM Automation Software Release Notes
Keithley Instruments 300mm SECS/GEM Automation Interface (KIGEM) on the S530 Parametric Test system provides an interface that complies with both the traditional SECS/GEM standards and the newer set of 300mm SEMI standards. It allows S530 systems to be…
部品番号: KIGEM-910-01B
Release Notes
KIGEM Automation Software Reference Manual KIGEM is implemented using a ConX300 driver that complies with the following SEMI standards: E5…This document is intended for use with the Keithley Instruments S530 Parametric Test System.
部品番号: KIGEM-901-01B
User
KIGEM Automation Software User's Manual Keithley Instruments 300mm SECS/GEM Automation Interface (KIGEM) on the S530 Parametric Test…This manual is the user's manual for KIGEM Automation Software.
部品番号: KIGEM-900-01C
User
Model 9139B-PCA Probe Card Adapter Instruction Manual Model 9139B-PCA Probe Card Adapter Instruction Manual
This manual contains an overview of the 9139B-PCA Probe Card Adapter, installation instructions, maintenance information, replaceable parts list, and information about supported probers.
部品番号: 9139B-901-01B
Model 9139B-PCA Probe Card Adapter Instruction
This manual contains an overview of the 9139B-PCA, installation instructions, maintenance information, parts list, and information about supported probers.
部品番号: 9139B-901-01B
Primary User
9139B Probe Card Adapter
The 9139B-PCA Probe Card Adapter is an option for Keithley’s S530 and S535 Parametric Test Systems and S500 Integrated Test Systems.  It also provides probe-card compatibility with Keithley’s previous generation S400 Parametric Test System.
部品番号: 1KW-61585-0
データシート
ACS Basic Software Reference Manual The ACS Basic Reference Manual includes advanced operation topics, information regarding support…The ACS Basic Reference Manual includes advanced operation topics, information regarding support for Keithley's source and measure instrument products, and in-depth descriptions of programming commands.
部品番号: ACSBASIC-901-01G
Primary User
ACS Software Quick Start Guide The ACS Quick Start Guide describes installation information, basic connections, reviews basic…The ACS Quick Start Guide describes installation information, basic connections, reviews basic operation and hardware information, and how to perform a test.
部品番号: ACS-903-01E
Primary User
ACS Basic Software Quick Start Guide The ACS Basic Quick Start Guide describes installation information, basic connections,…The ACS Basic Quick Start Guide describes installation information, basic connections, reviews basic operation and hardware information, and how to perform a test. 
部品番号: ACSBASIC-903-01C
Primary User
S540 Power Semiconductor Test System Datasheet
S540 Parametric Test SystemThe Keithley S540 is a fully-automated, wafer-level parametric test system that can perform all high voltage, low voltage, low current, and capacitance tests up to 3kV in a single probe touch-down to maximize productivity and minimize cost of ownership.
部品番号: 1KW-60909-1
データシート
S535 Multi-Site Wafer Acceptance Test System

部品番号: 1KW-61422-0
データシート
S530/S530-HV Parametric Test Systems

部品番号: 1KW-60240-1
データシート
Keithley Test Environment (KTE) Programmer's
This manual contains detailed descriptions of commands you can use with Keithley Test Environment (KTE) software to configure and control your parametric test system.
部品番号: S500-904-01B
Programmer
S530 Parametric Test System Administrative Guide
This document contains information about system options, site preparation and installation, equipment startup, maintenance, and example connection drawings.
部品番号: S530-924-01F
Primary User
S530-S535-S540 KTE 5.8.2 Release Notes
This document contains information on enhancements, critical and noncritical fixes, and known issues for each released version of the Keithley Test Environment (KTE) software.
部品番号: PA-1036V
Release Notes
S530 Parametric Test System Reference
This document contains information about system instruments, installation, getting started, using function libraries, software, frequency analysis, pulse generation, diagnostics and troubleshooting, and maintenance.
部品番号: S530-901-01B
Primary User
S535 Wafer Acceptance Test System Reference
This document contains information about system instruments, installation, getting started, using function libraries, software, dual-site operation, diagnostics and troubleshooting, and maintenance.
部品番号: S535-901-01B
Primary User
S535 Wafer Acceptance Test System Administrative Guide S535 Wafer Acceptance Test System Administrative Guide
This document contains information about system options, site preparation and installation, equipment startup, maintenance, and example connection drawings.
部品番号: S535-924-01B
Primary User
S540 Parametric Test System Reference S540 Parametric Test System Reference Manual
This document contains information about system instruments, installation, getting started, using function libraries, software, high-voltage C-V measurements, frequency analysis, pulse generation, diagnostics and troubleshooting, and maintenance.
部品番号: S540-901-01B
Primary User
S540 Parametric Test System Administrative Guide
This document contains information about system options, site preparation and installation, equipment startup, maintenance, and example connection drawings.
部品番号: S540-924-01D
Primary User
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