ケースレー・パラメトリック・テスト・システム

S530型パラメトリック・テスト・システム は、幅広いデバイスや技術を扱う必要がある製造環境やラボ環境向けに設計されており、テスト・プランの柔軟性、自動化、プローブ・ステーション統合、テスト・データ管理について業界トップクラスの性能を有しています。ケースレーは、30年以上にわたって各種規格やカスタム・パラメトリック・テストを世界各地のお客様に提供してきており、その際培った専門技術をこれらのテスト・ソリューションの設計に生かしています。

S535型マルチサイト・ウエハ許容テスト・システム は、ハイ・パワー、高分解能のウエハレベル・ソリューションであり、半導体製造分野全般におけるアナログ/パワー/ミックスドシグナル/ディスクリート・デバイスのテストに最適です。複数のデバイスのテストを1つのサイトで同時に行っていた、従来からの非同期並列テストの方式と異なり、S535型のマルチ/並列テストでは、複数サイトで複数のデバイスのテストを同時に行います。プローバでのインデックス・タイムが少なくとも2分の1に短縮されるため、半導体製造の生産性を高め、コストを削減することができます。

540型パラメトリック・テスト・システム は、完全自動、48ピン対応のパラメトリック・テスト・システムであり、最高3kVのパワー半導体デバイスのウエハレベルのテストが行えます。S540型は、SiC(炭化ケイ素)、GaN(窒化ガリウム)など、最新の化合物パワー半導体材料での使用に最適であり、一度のプロービングで高電圧、低電圧、容量テストがすべて実行できます。

S500シリーズ統合テスト・システム は、構成の自由度が高い機器ベースのシステムとして提供されており、デバイス、ウエハ、またはカセット・レベルでの半導体特性評価に対応しています。S500シリーズ統合テスト・システムは、当社の実証済みの機器技術をベースに構築されており、お客様のニーズを満たす革新的な測定機能および柔軟性を兼ね備えています。独自の測定機能に加え、強力かつ柔軟な自動特性評価(ACS)ソフトウェアが用意されており、市場に出回っている他の類似製品にはない包括的なアプリケーションおよび機能を利用できます。 

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Keithley Parametric Test Systems

S530型の特長

  • 新しいデバイスおよびテスト要件への優れた適応性
  • 高速かつ柔軟でインタラクティブなテスト・プラン開発
  • 代表的な全自動プローブ・ステーションに対応
  • 1 kV、C-V、パルス生成、周波数測定、および低電圧測定用のオプション
  • ケースレーの9139A型プローブ・カード・アダプタに対応
  • 既存の5インチ・プローブ・カード・ライブラリの再利用に対応
  • 実証済みの機器技術 - ラボとファブの両方において優れた測定確度および再現性を保証

S535型の主な特長

  • ウエハレベルのすべてのDCパラメトリック・テストの自動実行が可能(マルチサイトの並列テストにも直列操作にも対応)一度のプロービングで2または4サイトのテストが可能
  • 最大64ピンに対応:4サイトの並列テスト、16ピン/サイト; 2サイトの並列テスト、32ピン/サイト; シングルサイトの直列操作、64ピン
  • 最大100W:100V @ 1 A; 200V @ 100mA
  • 高速、マルチピン、全自動テスト環境において1fA、10nVの分解能
  • Linuxベースのケースレー・テスト環境(KTE)システム・ソフトウェアによるテスト開発の簡易化と実行の高速化(旧式のケースレー・テスト・システムでも使用可能)
  • ケースレーS530型プローブ・カード・インフラストラクチャは旧式のS400シリーズのアプリケーションもサポート

S540型の特長

  • ケーブルまたはプローブ・カード・インフラストラクチャの変更なしに、一度のプロービングで最大48ピンに対応したウエハレベルのパラメトリック・テスト(高電圧ブレークダウン、容量、低電圧などの測定)がすべて自動的に実行可能
  • テスト・ピンを手動で再構成することなく、Ciss、Coss、Crssなどのトランジスタ容量を最高3kVまで測定可能
  • マルチピンの高速な完全自動化テスト環境においても、優れた性能による低レベル測定が可能
  • Linuxベースのケースレー・テスト環境(KTE)システム・ソフトウェアによるテスト開発の簡易化と実行の高速化
  • プロセス統合、プロセス制御モニタリング、ダイソートなどの全自動または半自動アプリケーションに最適
  • テスト時間およびテスト・セットアップ時間の短縮と設置スペースの縮小により、総所有コストを削減すると同時に、ラボグレードの測定性能を実現

S500シリーズの特長

  • フェムトアンペア未満の測定にも対応したフルレンジのソース・メジャー・ユニット(SMU)機器の仕様 - ほぼすべてのデバイスに対して幅広い測定が可能。
  • パルス生成および超高速I-V - メモリ特性評価、電荷ポンピング、シングルパルスPIV(電荷トラップ解析)、PIVスイープ(自己発熱回避)に対応
  • 少/多チャンネル数システム - 並列テストに対応し、ケースレーのシステム・イネーブリング/拡張可能SMU機器を搭載。
  • 高電圧、大電流、ハイパワーのソース・メジャー機器 - パワーMOSFETやディスプレイ・ドライバなどのデバイスのテストに対応。
  • スイッチング、プローブ・カード、ケーブル一体型 - DUTの測定が容易