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ケースレー・パラメトリック・テスト・システム

GaN/SiCを含む今日のアナログ/パワー半導体技術では、測定性能を最大化し、幅広い製品の組み合わせに対応し、さらにテスト・コストを最小限に抑えるパラメトリック・テストが必要とされています。40年以上にわたり、ケースレーは、プロセス統合、プロセス制御モニタリング、ダイソート・テスト(WATやKGD)や信頼性テストといった重要なアプリケーションにおいて、さまざまな重要な課題に対応してきました。

ケースレーのS530シリーズ・パラメトリック・テスト・システム(およびKTE 7ソフトウェア)は、新しいアプリケーションの出現や要件の変化にも対応できる、高速で柔軟性の高い構成を提供します。S530型は最大200Vのテストに対応し、S530-HV型は任意のピンで最大1,100 Vのテストが可能で、競合他社のソリューションよりもスループットを最大50%向上させることができます。KTE 7の新機能として、オプションのシステム・テストヘッドが追加されました。これにより、プローバとの直接ドッキングやレガシ・プローブ・カードの再利用が可能になり、車載規格IATF-16949の要件に対応した、システム・レベルの ISO-17025準拠のピン校正が可能になります。データの完全な相関関係と速度の向上により、S600やS400といったレガシ・システムからの最も簡単で円滑な移行が可能になります。

540型パラメトリック・テスト・システムは、完全自動、48ピン対応のパラメトリック・テスト・システムであり、最高3kVのパワー半導体デバイスのウエハレベルのテストが行えます。S540型は、SiC(炭化ケイ素)、GaN(窒化ガリウム)など、最新の化合物パワー半導体材料での使用に最適であり、一度のプロービングで高電圧、低電圧、容量テストがすべて実行できます。

S500シリーズ統合テスト・システムは、構成の自由度が高い機器ベースのシステムとして提供されており、デバイス、ウエハ、またはカセット・レベルでの半導体特性評価に対応しています。S500シリーズ統合テスト・システムは、当社の実証済みの機器技術をベースに構築されており、お客様のニーズを満たす革新的な測定機能および柔軟性を兼ね備えています。独自の測定機能に加え、強力かつ柔軟な自動特性評価(ACS)ソフトウェアが用意されており、市場に出回っている他の類似製品にはない包括的なアプリケーションおよび機能を利用できます。

 

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ケースレー・パラメトリック・テスト・システム

S530型の特長

  • テストヘッドを含む柔軟なプローバ・インタフェース・オプションにより、ケースレーやキーサイトなどの既存のテスト・システムもサポート
  • 業界標準のKTEソフトウェア環境
  • 一度のプロービングでHV/LVパラメータのテストが完了
  • 最新の品質基準を満たす新しいシステム・リファレンス・ユニット(SRU)による全自動のシステムレベル校正
  • KTE 7ヘルス・チェック・ソフトウェア・ツール:システムのアップタイムおよびデータ整合性の最大化
  • 過渡過電圧/過電流イベントからの保護機能を搭載。コストのかかるシステム・ダウンタイムやウエハの損傷を最小限に
  • ISO-17025の校正要件を満たし、IATF-16949規制に対応
  • 300mmウエハ製造でのSECS/GEMの統合

S540型の特長

  • ケーブルまたはプローブ・カード・インフラストラクチャの変更なしに、一度のプロービングで最大48ピンに対応したウエハレベルのパラメトリック・テスト(高電圧ブレークダウン、容量、低電圧などの測定)がすべて自動的に実行可能
  • テスト・ピンを手動で再構成することなく、Ciss、Coss、Crssなどのトランジスタ容量を最高3kVまで測定可能
  • マルチピンの高速な完全自動化テスト環境においても、優れた性能による低レベル測定が可能
  • Linuxベースのケースレー・テスト環境(KTE)システム・ソフトウェアによるテスト開発の簡易化と実行の高速化
  • プロセス統合、プロセス制御モニタリング、ダイソートなどの全自動または半自動アプリケーションに最適
  • テスト時間およびテスト・セットアップ時間の短縮と設置スペースの縮小により、総所有コストを削減すると同時に、ラボグレードの測定性能を実現

S500シリーズの特長

  • フェムトアンペア(fA)未満の測定にも対応したフルレンジのソース・メジャー・ユニット(SMU)機器の仕様 - ほぼすべてのデバイスに対して幅広い測定が可能
  • パルス生成および超高速I-V - メモリ特性評価、電荷ポンピング、シングルパルスPIV(電荷トラップ解析)、PIVスイープ(自己発熱回避)に対応
  • 少/多チャンネル数システム - 並列テストに対応し、ケースレーのシステム・イネーブリング/拡張可能SMU機器を搭載
  • 高電圧、大電流、ハイパワーのソース・メジャー機器 - パワーMOSFETやディスプレイ・ドライバなどのデバイスのテストに対応
  • スイッチング、プローブ・カード、ケーブル一体型 - DUTの測定が容易