ケースレー高抵抗/低電流電位計6500/6430シリーズ

3つの高感度オプションのいずれかを使用して、高抵抗/低電流を高確度で測定できます。5.5桁の6514型と6517B型電位計は、1 fAの感度、200 TΩ超の入力インピーダンス(電圧測定時)、10 fCレベルの電荷測定性能を備えています。6.5桁の6430型サブフェムトアンペア・リモート・ソースメータは、1 aAの感度で電流を測定できます。低ノイズ/ドリフト性能があり、単一電子デバイス、高抵抗ナノワイヤ/ナノチューブ、ポリマ、電気化学的用途の研究に適しています。

keithley-logo

Keithley High Resistance/Low Current Electrometers Series 6500, 6430

特長

利点

超低ノイズ(6430型で0.4 fA p-p 、6517B型および6514型で1 fA未満) デバイスや材料の研究で一般に見られる超低電流の測定を高確度で行うことができます。
最大10 16 Ωの抵抗測定(6517B型) 超高抵抗材料/絶縁体の抵抗を高確度で測定できます。
リモート・プリアンプを信号ソースに接続可能(6430型) 信号ソースと直接接続するか、接続距離をきわめて短くして、ケーブル・ノーズなどのノイズ源を極力なくすことができます。
低負担電圧 低電流測定の確度に影響する誤差を排除します。
スイープ機能を備えた±1 kV電圧ソースを内蔵(6517B型) リーク・テスト、破壊テスト、抵抗テストだけでなく、高抵抗材料の体積抵抗(Ω-cm)や表面抵抗(Ω/square)の測定も簡単に行うことができます。
サンプル材料の体積抵抗および表面抵抗を測定するためのオプションの8009型抵抗チャンバ(6517B型) 危険性の高い電圧との接触を防ぎます。チャンバのふたを開くと、機器の電圧ソースが自動的にオフになります。
微細な信号も高速に測定可能 微細なコンポーネント・テストを迅速に行うことができます。
プログラマブル・デジタルI/Oと内蔵インタフェース コンポーネントの自動テスト・システムの構築が容易です。
型名 電流 電圧 抵抗 充電 ソース 価格
6517B/J

10 aA~20 mA

10 µV~200 V

100 Ω~10 PΩ

10 fC~2 μC

0~±1000 V

構成と見積り
6514/J 100 aA~20 mA 10 µV~200 V

10 mΩ~200 GΩ

10 fC~20 μC

-

構成と見積り
6514 100aA - 20mA 10µV - 200V

10mΩ - 200GΩ

10fC - 20μC

US $6,220
構成と見積り
6517B

10aA - 20mA

10µV - 200V

100Ω - 10PΩ

10fC - 2μC

0 - ±1000V

US $9,380
構成と見積り
6430 10 aA~100 mA 1 µV~200 V

1µΩ~>20TΩ

-

0~±200 V
0~±100 mA

US $18,000
構成と見積り
型名 電流 電圧 抵抗 充電 ソース 価格
6517B/J

10 aA~20 mA

10 µV~200 V

100 Ω~10 PΩ

10 fC~2 μC

0~±1000 V

構成と見積り
6514/J 100 aA~20 mA 10 µV~200 V

10 mΩ~200 GΩ

10 fC~20 μC

-

構成と見積り
6514 100aA - 20mA 10µV - 200V

10mΩ - 200GΩ

10fC - 20μC

US $6,220
構成と見積り
6517B

10aA - 20mA

10µV - 200V

100Ω - 10PΩ

10fC - 2μC

0 - ±1000V

US $9,380
構成と見積り
6430 10 aA~100 mA 1 µV~200 V

1µΩ~>20TΩ

-

0~±200 V
0~±100 mA

US $18,000
構成と見積り
アクセサリ 1681
データシート 概要
クリップ式テスト・リード
アクセサリ 2000-BENCHKIT
データシート 概要
マルチ・モデル・ベンチ変換キット
アクセサリ 237-ALG-15
データシート 概要
表示(View) データシート 低ノイズ3軸ケーブル、15 m
アクセサリ 237-ALG-2
データシート 概要
3スロット・トライアキシャル・ケーブル(ワニ口クリップ付)
アクセサリ 237-BNC-TRX
データシート 概要
3ラグ・トライアキシャル(Fe)-BNC(Ma)アダプタ(ガード未接続)
アクセサリ 237-TRX-NG
データシート 概要
33スロット・トライアキシャル(Ma)-3ラグ・トライアキシャル(Fe)
アクセサリ 4288-1
データシート 概要
シングル固定ラック・マウント・キット
アクセサリ 4288-2
データシート 概要
デュアル固定ラック・マウント・キット
アクセサリ 4288-5
データシート 概要
ラック・キット
アクセサリ 4804
データシート 概要
BNC(Ma)-トライアキシャル(Fe)アダプタ
アクセサリ 6517-ILC-3
データシート 概要
インターロック・ケーブル、4ピン
アクセサリ 6517-TP
データシート 概要
温度プローブ
アクセサリ 6521.
データシート 概要
スキャナ・カード
アクセサリ 7009-5
データシート 概要
1.5m[5 FT]、シールドRS-232ケーブル
アクセサリ 8009
データシート 概要
抵抗率テスト・フィクスチャ
アクセサリ 8607
データシート 概要
1 KVソース・バナナ・ケーブル
データシート アクセサリ 概要
表示(View) データシート 1681 クリップ式テスト・リード
表示(View) データシート 2000-BENCHKIT マルチ・モデル・ベンチ変換キット
237-ALG-15 低ノイズ3軸ケーブル、15 m
表示(View) データシート 237-ALG-2 3スロット・トライアキシャル・ケーブル(ワニ口クリップ付)
表示(View) データシート 237-BNC-TRX 3ラグ・トライアキシャル(Fe)-BNC(Ma)アダプタ(ガード未接続)
表示(View) データシート 237-TRX-NG 33スロット・トライアキシャル(Ma)-3ラグ・トライアキシャル(Fe)
表示(View) データシート 4288-1 シングル固定ラック・マウント・キット
表示(View) データシート 4288-2 デュアル固定ラック・マウント・キット
表示(View) データシート 4288-5 ラック・キット
表示(View) データシート 4804 BNC(Ma)-トライアキシャル(Fe)アダプタ
表示(View) データシート 6517-ILC-3 インターロック・ケーブル、4ピン
表示(View) データシート 6517-TP 温度プローブ
表示(View) データシート 6521. スキャナ・カード
表示(View) データシート 7009-5 1.5m[5 FT]、シールドRS-232ケーブル
表示(View) データシート 8009 抵抗率テスト・フィクスチャ
表示(View) データシート 8607 1 KVソース・バナナ・ケーブル
KickStartソフトウェア・データシート

文書番号: 1KZ-60965-3
Datasheet
6517B エレクトロメータ/絶縁抵抗計
Datasheet
6514型エレクトロメータ
2010 catalog pages for the Model 6514 Programmable Electrometer.
Datasheet
6430型 サブフェムトアンペア・ リモート・ソースメータ データシート
Datasheet
KickStart Instrument Control Software Quick Start Guide
This guide contains basic instructions for the KickStart 2.1 software.

KickStart simplifies what you need to know about the instrument so that in just minutes you can take the instrument out of the box and get real data on your device. By plotting data immediately and offering quick statistical summaries of the data in the reading table, KickStart allows you to gather insights faster and make the decisions you need to move on to the next stage of device development.


部品番号: KKS-903-02C
主要ユーザ
6430 Sub-Femtoamp Remote SourceMeter Specifications

Specifications for the 6430 Sub-Femtoamp Remote SourceMeter
部品番号: SPEC-6430G
User
ケースレー・ソースメータ(SMU)セレクト・ガイド
お客様のニーズに合った適切なSMUの選定の手助けに、詳細スペックを一覧で比較でき、最適な1台をお選びいただけます。

文書番号: 1KW-61458-0
製品選択ガイド
Model 237-ALG-2 Triaxial Cable
The Keithley Instruments Model 237-ALG-2 is a 6.6 ft (2 m) triaxial cable that is terminated with a three-slot male triaxial connector on one end and alligator clips on the other end.

文書番号: PA-298D
Datasheet
Model 6517B-ILC-3 Interlock Cable
The Keithley Instruments Model 6517B-ILC-3 Interlock Cable is designed to connect the interlock of the Model 6517B Electrometer with the Model 8009 High Resistivity Test Fixture.

文書番号: PA-975A
Datasheet
Model 4288-2 Dual Fixed Rack Mounting Kit
The Model 4288-2 Dual Fixed Rack Mounting Kit includes all of the hardware necessary for side-by-side rack mounting of two instruments, including Series 2000, 2182A, Series 2300, Series 2500, 2700, 2701, 6220, 6221, 6485, 6487, 6514, or 6517B.

文書番号: PA-290C
Datasheet
6430-901-01
MODEL 6430 SUB-FEMTOAMP REMOTE SOURCEMETER REFERENCE MANUAL

The Model 6430 Sub-Femtoamp Remote SourceMeter Reference Manual includes advanced operation topics, maintenance information, troubleshooting procedures, and in-depth descriptions of programming commands.
部品番号: 6430-901-01F
主要ユーザ
Keithley Instruments Safety Precautions
Safety Precautions PA

This document contains safety information for Keithley Instruments products.


部品番号: 071341102
User
Model 4299-7 Fixed Rack-Mount Kit Assembly and Mounting Instructions
This document contains the parts list and installation information for products that can be mounted with this rack-mount kit.

Model 4299-7 Fixed Rack Mounting Kit Assembly and Mounting Instructions
部品番号: PA-1065E
User
Model 6517B Electrometer Reference Manual
The 6517B is capable of measuring a voltage range of up to 200 V with an input impedance exceeding 200 TΩ. All this performance is built into an instrument that operates as simply as a digital Multimeter.

This reference manual provides setup, operation, and command descriptions for the Keithley Model 6517B Electrometer/High Resistance Meter.


部品番号: 6517B-901-01D
主要ユーザ
Model 6514 System Electrometer Instruction Manual

Model 6514 System Electrometer Instruction Manual
部品番号: 6514-901-01D
主要ユーザ
Model 6517B Electrometer User's Manual

Model 6517B Electrometer User's Manual
部品番号: 6517B-900-01A
主要ユーザ
6514 Japanese Quick Result Guide

6514 JAPAN MANUAL
部品番号: 6514J-903-01A
User
Model 6430 Japanese Quick Result Guide

Model 6430 Japanese Quick Result Guide
部品番号: 6430J-903-01A
User
Model 6514 System Electrometer Quick Results Guide
User Manual

Model 6514 System Electrometer Quick Results Guide Rev. A
部品番号: 6514-903-01A
User
Keithley Model 6430 Sub-Femtoamp Remote SourceMeter Quick Results Guide

Model 6430 Sub-Femtoamp Remote SourceMeter Quick Results Guide Rev. A 2003
部品番号: 6430-903-01A
KickStart Instrument Control Software Version 2.3.0 (Windows 10, 8, 7 compatible)
KickStart Software for the PC enables quick test setup and data visualization when using one or more instruments. Key Features Save time by automating data collection of millions of readings. Set up a multi-instrument test with the ability to …

部品番号: KICKSTART-2.3.0
Application
KickStart Instrument Control Software Version 2.2.1 (Windows 10, 8, 7 compatible)
KickStart Software for the PC enables quick test setup and data visualization when using one or more instruments. Key Features • Save time by automating data collection of millions of readings. • Set up a multi-instrument test with the ability to …

部品番号: KICKSTART-2.2.1
Application
KickStart Instrument Control Software Version 2.2.0 (Windows 10, 8, 7 compatible)
"KickStart Software for the PC enables quick test setup and data visualization when using one or more instruments. Key Features • Save time by automating data collection of millions of readings. • Set up a multi-instrument test with the …

部品番号: KICKSTART-2.2.0
Application
KickStart Instrument Control Software Version 2.1.1 (Windows 10, 8, 7 compatible)
"KickStart Software for the PC enables quick test setup and data visualization when using one or more instruments. Key Features • Save time by automating data collection of millions of readings. • Set up a multi-instrument test with the …

部品番号: KICKSTART-2.1.1
Application
KickStart Instrument Control Software Version 2.1.0 (Windows 10, 8, 7 compatible)
"KickStart Software for the PC enables quick test setup and data visualization when using one or more instruments. Key Features • Save time by automating data collection of millions of readings. • Set up a multi-instrument test with the …

部品番号: KICKSTART-2.1.0
Application
Keithley I/O Layer version C10 (Windows 10, 8, 7 Compatible)
Keithley I/O Layer version C10 (KIOL-850C10 adds support for Windows 10 Operating System and installs NI-VISA Runtime 17.5 and NI-ICP 17.0. This release replaces previous versions of KIOL-850B07, KIOL-850C02, KIOL-850C03, KIOL-850C04, KIOL-850C05 …

部品番号: KIOL-850C10
Application
Model 6517B Firmware version A14
Firmware version A14 and Release Notes. Use with Keithley Flash Wizard to upgrade a 6517B instrument.

部品番号: 6517B-FRP-A14
Firmware
KickStart Instrument Control software Version 1.9.8 (use with HRMA app)
Easy to use instrument control software Required for use with KickStart’s High Resistance Measurement App (HRMA) For all other apps, consider KickStart 2 as a replacement Compatible with Windows 7, Windows 8 and Windows 10.

部品番号: KICKSTART-1.9.8
Application
6430 C30 Firmware Release Package
Model 6430 Firmware Release Package Version C30

部品番号: 6430-FRP-C30
Firmware
Keithley I/O Layer - version C07 (Windows 8, 7, Vista, and XP Compatible)
Keithley I/O Layer version C07 (KIOL-850C07 adds a change to only send the :syst:rem command to RS-232 connections This release replaces previous versions of KIOL-850B07, KIOL-850C02, KIOL-850C03, KIOL-850C04, KIOL-850C05, KIOL-850C06). This version …

部品番号: KIOL-850C07
Application
Model 6517B Firmware Version A13
Model 6517B A13 Firmware and Release Notes.

部品番号: 6517B-801A13
Firmware
6514 A11 Firmware Upgrade.exe (2.5Meg)
Flash Wizard to upgrade 6514 to firmware version A11.

部品番号: 6514-800A11
Firmware
2400 IVI Driver for Visual Basic (VB), VC/C++, Labview (LV) and LabWindows CVI, Rev. B01 (7.2Mb) - Requires Installation of Keithley I/O Layer (KIOL-850)
IVI driver for 24xx series, includes support for 6430. Not the VXIPnP driver.

部品番号: 2400-854B01
Driver
Model 6517B Firmware Version A12
Model 6517B A12 Firmware and Release Notes.

部品番号: 6517B-801A12
Firmware
6514 Native LabView 2009 Driver version 1.0.0 - Project Style
6514 Native LabView 2009 Driver Version 1.0.0

部品番号: 6514-LV-1.0.0
Driver
6430 BETA LabVIEW ver. 5.X (LV) driver for Windows

部品番号: 6430-LV-5.X
Driver
6514 IEEE Bus Library for Testpoint
10-15-01: Support Documentation file (README.txt) included in the download.

部品番号: 6514-TP-IEEE-LIB
Driver
6514 LabVIEW 5.X (LV) Driver for Windows

部品番号: 6514-LV-5.X
Driver
Model 6517B Firmware Version A10
6517B Version A10 Firmware and Release Notes.

部品番号: 6517B-801A10
Firmware
Flashwizard version C12 (Windows 7, Vista, XP, Win2K, NT, ME, 98 Compatible)
Flashwizard executable version C12 (Windows 7, Vista, XP, Win2K, NT, ME, 98 Compatible)

部品番号: FLASH-WIZARD-C12
Firmware
6514 LabVIEW (LV) ver. 6i Driver

部品番号: 6514-LV-6I
Driver
Model 6514 Programmable Electrometer Specifications
Model 6514 Programmable Electrometer Specifications

文書番号: SPEC-6514B
項目
Model 6430 Sub-Femtoamp Remote SourceMeter Specifications
Model 6430 Sub-Femtoamp Remote SourceMeter Specifications

文書番号: SPEC-6430G
項目
Model 6517B Electrometer / High-Resistance Meter Specifications Specifications
This document contains specifications and supplemental information for the Model 6517B. Specifications are the standards against which the Model 6517B is tested. Upon leaving the factory, the Model 6517B meets these specifications

文書番号: SPEC-6517BB
項目
Low Current Measurements
アプリケーション・ノート
Problem: Measurements are Low in High Resistance Measurements
技術資料
Maximize Speed and Throughput for Semiconductor Measurements Using Source Measure Units (SMUs)
ポスター
Maximize Speed and Throughput for Semiconductor Measurements
ポスター
Methods to Achieve Higher Currents from I-V Measurement Equipment
アプリケーション・ノート
Making High Resistance Measurements on Small Crystals in Inert Gas or High Vacuum w/ the Model 6517A
アプリケーション・ノート
Low Level Measurements Handbook - 7th Edition

文書番号: 1KW-1559-0
ハンドブック
Understanding Control Systems and Communications for Today's Automobiles
ファクト・シート
New Materials and Devices E-Guide
パンフレット
Guide to Measuring New Materials and Devices
ハンドブック
Optimizing Low-Current Measurements and Instruments
ホワイトペーパー
#315 Capacitor Leakage Measurements Using a Model 6517A Electrometer
App Note 315 Capacitor leakage measurements using a model 6517A electrometer
アプリケーション・ノート
Your Guide to Creating High Performance Switching Applications
ファクト・シート
Volume and Surface Resistivity Measurements of Insulating Materials Using the 6517B Electrometer/High Resistance Meter
Measuring insulators involves very low currents.  This application note explains how to use the Keithley 6517B Electrometer/High Resistance Meter to make thismeasurement to ensure accuracy and repeatability.
アプリケーション・ノート
Solutions for Production Testing of Connectors
アプリケーション・ノート
Source Measure Unit Instruments - The Tool of Choice for Emerging R&D Applications
ファクト・シート
Choosing the Optimal Source Measurement Unit Instrument for Your Test and Measurement Application (also Applicable to Series 2600B)
ホワイトペーパー
Counting Electrons: How to Measure Currents in the Attoampere Range
技術資料
Discover Today's Solutions for Tomorrow's Nano Characterization Challenges
パンフレット
Test Methods for Automobile Communication and Control Systems
ファクト・シート
Advances in Electrical Measurements for Nanotechnology
Rev 3.15.13
ハンドブック
Quick Reference Guide to SCPI Commands
アプリケーション・ノート
Better Solar Cell Testing: The Key to Faster Development and Production
技術資料
Keithley Instrumentation for Electrochemical Test Methods and Applications
This application note discusses a variety of electrochemical applications, including voltammetry, low and high resistivity measurements, battery test, potentiometry, electrodeposition, electrical device characterization, and other tests that involve …

文書番号: 1KW-60158-1
アプリケーション・ノート
E-Handbook Guide to Switch Considerations by Signal Type
ファクト・シート
Eliminating Common SCPI Errors
アプリケーション・ノート
#1138 Switching in Multipoint Testing
アプリケーション・ノート
2218 Production Testing of High-Intensity Visible LEDs
アプリケーション・ノート
#2615 Determining Resistivity and Conductivity Type using a Four-Point Collinear Probe and the Model 6221 Current Source
アプリケーション・ノート
2402 DC Production Testing of OLED Displays
アプリケーション・ノート
Powering Results with Precision and Simplicity e-Guide
ファクト・シート
Power Testing Applications for Today's Automobiles
パンフレット
Problem: Noisy Readings in High Resistance Measurements
技術資料
Problem: Noise in Low Current Measurements
技術資料
Problem: Error in Low Voltage, Low Current Measurements
技術資料
High Accuracy Electrometers for Low Current/High Resistance Applications
パンフレット
Touch, Test, Invent with the Next Generation Current and Voltage Source-Measure Instruments
ファクト・シート
Device Characterization Techniques Using Keithley SourceMeter Instruments with LabTracer Software
アプリケーション・ノート
Are settings saved on Model 6517B when updating to a later firmware?
Yes, settings can be saved using the following procedure: 1. Press MENU, let go. 2. Select SAVESETUP, press ENTER. 3. Select SAVE, press ENTER. 4. Select number for save (0-9), press ENTER.   To restore: 1. Press MENU, let go. 2. Select SAVESETUP …
FAQ ID468411

FAQ ID69776

FAQ ID71366

FAQ ID69766

FAQ ID69771

FAQ ID71061
What is the lowest resistivity that can be measured with the 8009 resistivity test chamber and 6517B electrometer?
It depends on the voltage source and ammeter, not so much the test fixture. The Model 6517B voltage source is capable of sourcing 10mV to 1000V. And up to 10mA. So this means if it sources 1V and has a 10mA compliance then it could read 100 ohms …
FAQ ID778991
Comparison of DDC and SCPI Command codes for 6517.
Look the attached word document for comparison of DDC(Device Dependent Commands) to SCPI commands for Model 6517A.
FAQ ID729066
How is resistance measured?
Electrical resistance is measured by either of two methods: constant current or constant voltage. The constant current technique sources a known current through an unknown resistance and the resulting voltage is measured. This technique is generally …
FAQ ID71691
How to make a Resistivity Measurement using the 8009 and 6517B in Alt-Polarity Mode
1) Connect interlock, Source Voltage HI and LO, and triax meter cables between 6517B back panel and 8009 test fixture. 2) Determine type of resistivity measurement (surface or volume) and use selector switch on 8009. 3) To set resistivity …
FAQ ID255381
What is the effective input resistance on the 6517B electrometer in current mode?
Voltage burden is what is important here. Model 6517B is as close to an ideal ammeter as its voltage burden is extremely low. However, you can calculate the "effective" input resistance of each range. 20pA range is 20uV / 20pA = 1M ohm 200pA range is …
FAQ ID774026
How do I change the line voltage setting on a Keithley Model 6517B?
1. Make sure the instrument is turned off and unplugged.  2. Carefully take out the fuse housing (above the power cord input) by opening the tabs on both sides.  3. Switch out the fuses in the fuse housing for the appropriate fuses for your line …
FAQ ID471641

FAQ ID71766
PicoAmmeters/Electromeers/Sensitive SMUs -What is Guard?
The concept of guarding is to surround the input high node or DUT with a guard shield that is at the same potential. Current cannot flow through a leakage resistance that has a 0 V drop across it.  Guarding is used to greatly reduce leakage current …
FAQ ID468106