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ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

4200A-SCS型があれば、半導体デバイス、材料、プロセス開発の研究や信頼性/障害解析の効率が大幅に改善されます。 高性能パラメータ・アナライザを使用すると、電流-電圧(I-V)測定、容量-電圧(C-V)測定、超高速パルスI-V測定の同期が可能です。

お使いのPCで無料でお試しください!

Product-series_4200-promo-options

DC電流-電圧
(I-V)レンジ

10aA~1A
0.2µV~210V

容量-電圧
(C-V)レンジ

1kHz~10MHz
±30V DCバイアス

パルスI-V
レンジ

±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート

 

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

高速で信頼性の高いパラメータ解析

高度な電気的特性評価が、これまでになく簡単になりました。4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用すると、セットアップから特性評価テストの実行までの時間を最大50%短縮できるだけでなく、信頼性の高い優れた測定/解析機能を利用できます。さらに、テスト・ガイダンスなど、セルフ・ラーニング・ツールを内蔵しているため、誰にでも信頼性の高い測定結果が得られます。

特長

  • DC I-V、C-V、パルスI-Vの測定に対応した高度な測定ハードウェア
  • Clariusソフトウェア:ユーザによる変更が可能な数多くのアプリケーション・テストが付属しており、すぐにテストを開始できる
  • リアルタイムの自動パラメータ抽出、データのグラフ化、解析など豊富な機能を装備

正確なC-V特性評価

ケースレーの最新の静電容量/電圧ユニット(CVU)である4215-CVU型では、わずか1桁のフェムトファラドを測定できます。1VAC電源をケースレーの業界をリードするCVUアーキテクチャに統合することで、4215-CVU型は1kHz~10MHzの周波数で低ノイズの静電容量測定を実現しています。

特長

  • 1VAC電源電圧を駆動できるクラス初のC-Vメータ
  • 1 kHzの周波数分解能(1kHz~10MHz)
  • 静電容量、コンダクタンス、アドミタンスの測定
  • 4200A-CVIV型マルチスイッチで最大4チャンネルまで測定可能

4215-CVU型を使用してフェムトファラド(1e-15F)単位の静電容量を測定する

4200A SCS Front Femtofarad

測定、スイッチ、繰り返し。

4200A-CVIV型マルチスイッチを使用すると、配線を変更したり、プローバ・チップを持ち上げることなく、I-V測定とC-V測定を自動的に切り替えられます。競合製品と異なり、4チャンネル・タイプの4200A-CVIV型はディスプレイを装備しており、手元で詳細な情報が確認できるため、予期しない測定結果になった場合でも、すばやくテストをセットアップし、簡単にトラブルシューティングできます。

特長

  • 配線を変えずに、任意のデバイス端子にC-V測定結果を転送
  • ユーザによるコンフィグレーションが可能な低電流機能
  • 出力チャンネル名のパーソナライズが可能
  • テスト・ステータスをリアルタイムに確認可能

安定した低電流測定によるI-V特性評価

4201-SMU型、4211-SMU型モジュールを使用することで、大きな負荷容量で安定した低電流測定が行えます。4200A-SCS型は4種類のソース・メジャー・ユニット(SMU)パッケージが選択できるため、I-V測定のニーズに合わせて柔軟にカスタマイズできます。ケースレー製品は、フィールド・インストールが可能なユニットやプリアンプ・モジュールが用意されているため、ダウンタイムを抑えながら、高精度な低電流測定を確実に行えます。

4201-SMU型、4211-SMU型を使用した、大きな負荷容量における低電流測定

特長

  • サービス・センターに返送せずに、お客様の環境で簡単にSMUの追加が可能
  • fAレベルの高精度測定が可能
  • 最大9つのSMUチャンネル
  • 長いケーブルや大きなチャックにも対応可能

解析用プローバおよび温度コントローラの統合

4200A-SCS型パラメータ・アナライザは、MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 Cryogenic温度コントローラなど、数多くの手動/半自動ウエハ・プローバおよびCryogenic温度コントローラをサポートしています。

特長

  • "ポイント・アンド・クリック"の簡単なテスト・シーケンシング
  • プローバの機能をテストするための"手動"プローバ・モード
  • コマンドを削除しなくてもデバッグが可能なフェイル・プローバ・モード

コスト削減、投資保護

ケースレー・ケア・プランは、従来のサービスに比べて低コストで迅速、高品質のサービスを提供します。 ワンクリックまたは電話連絡で修理を開始します。見積り、注文書発行は不要、承認(稟議、決済)手続きによって遅れが生じることもありません。

詳細を見る

 

4200A SCS Front Femtofarad
データシート 型名 概要 価格
データシート 4200A-SCS-PKA型
高分解能IV測定向
4200A-SCS型:パラメータ・アナライザ・メインフレーム
4201-SMU型:大容量セットアップ用中電力SMU(2)
4200-PA型:プリアンプ(1)
8101-PIV型:サンプル・デバイス付きのテスト・フィクスチャ(1)
見積り依頼
データシート 4200A-SCS-PKB型
高分解能IV/CV測定向
4200A-SCS型:パラメータ・アナライザ・メインフレーム
4201-SMU型:大容量セットアップ用中電力SMU(2)
4200-PA型:プリアンプ(1)
4215-CVU型:高分解能マルチ周波数CVユニット(1)
8101-PIV型:サンプル・デバイス付きのテスト・フィクスチャ(1)
見積り依頼
データシート 4200A-SCS-PKC型
ハイ・パワーIV/CV測定向
4200A-SCS型:パラメータ・アナライザ・メインフレーム
4201-SMU型:大容量セットアップ用中電力SMU(2)
4211-SMU型:大容量セットアップ用ハイ・パワーSMU(2)
4200-PA型:プリアンプ(2)
4215-CVU型:高分解能マルチ周波数CVユニット(1)
8101-PIV型:サンプル・デバイス付きのテスト・フィクスチャ(1)
見積り依頼
データシート 4200-BTI-A型
超速NBTI/PBTI測定向
最先端CMOSテクノロジのNBTI/PBTI測定に対応。4200-BTI-A型パッケージに含まれるもの:
  • 4225-PMU型超速I-Vモジュール(1)
  • 4225-RPM型リモート・プリアンプ/スイッチ・モジュール(2)
  • 自動特性評価スイート(ACS)ソフトウェア
  • 超速BTIテスト・プロジェクト・モジュール
  • ケーブル
見積り依頼
4210CVU-2

フェムトファラド単位の静電容量の測定

4215-CVUモジュールを使用して、サブフェムトファラド単位の静電容量を測定できます。4215-CVU型では、1VACを駆動することで、わずか6アトファラドという低いノイズ・レベルで1fFのコンデンサを測定できます。これは、静電容量の測定や重要なパラメータの抽出に最適なClariusソフトウェアに含まれる数十種類のアプリケーションのうちの1つに過ぎません。

4215-CVU型を使用してフェムトファラド(1e-15F)単位の静電容量を測定する

最適な静電容量およびACインピーダンスを測定する

特長

  • フェムトファラド測定機能を内蔵
  • 周波数ステップ:10,000(1kHz~10MHz)
  • ユーザ・ライブラリを使用してデバイスに最適なテストをカスタマイズ

半導体/NVMの信頼性

完全にパルス化されたI-V特性評価を使用して、新技術をテスト段階に引き上げましょう。 4200A-SCS型には、フローティング・ゲート・フラッシュからReRAMおよびFeRAMまでの最新のNVRAMテクノロジをサポートし、すぐに実行できるテストが内蔵されています。電流と電圧のデュアル供給と測定機能により、トランジェントとI-Vドメインの両方の特性評価が可能です。

MOSFETデバイスのホット・キャリア誘起劣化の評価

1nsパルス・ソリューションによる不揮発性メモリ・テスト

不揮発性メモリ技術のパルス I-V特性評価

Semiconductor and NVM Reliability
C-V Measurement for High Impedance Applications

高インピーダンス・アプリケーションのC-V測定

ケースレーのカスタム低周波数C-Vテクニックを使用して、高抵抗サンプルの静電容量を解析します。この手法は、SMU(ソース・メジャー・ユニット)機器のみを使用して実行されますが、4210-CVU型と組み合わせることで、より高い周波数も計測できます。

4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用した高インピーダンス・デバイスでの超低周波のC-V測定

MOSFET/MOSCAPデバイスの特性評価を簡素化するヒントと技術

特長

  • 1pF~10nFの感度による0.01~10Hzの周波数レンジ
  • 3.5桁の標準分解能、10fFの最小値

長いケーブル/容量性フィクスチャを使用するテストに

テストを行う際に、きわめて長いケーブル、大きな負荷容量のフィクスチャが必要な場合は、4201-SMU型または4211-SMU型を使用します。これらのSMUは、LCDテスト・ステーション、プローバ、スイッチ・マトリクス、その他の大型または複雑なテスタとの接続に最適です。フィールド・インストールが可能なバージョンでは、サービス・センタに返送せずに容量を追加できます。

Testing when using Long Cables or Capacitive Fixtures
Nanoscale Device Characterization

ナノスケール・デバイスの特性評価

4200A-SCS型の統合計測器機能は、カーボン・ナノチューブなどのナノスケール・エレクトロニクスの開発における測定要件を簡素化します。事前に設定されたテスト・プロジェクトから調査を開始し、そこから作業を展開します。 SMUのパルス・ソース・モードは低電圧C-Vと超速パルスDC測定を数秒で組み合わせ、過熱問題の低減に役立ちます。

カーボン・ナノチューブ・トランジスタ(CNT FET)の電気的特性

材料の比抵抗

SMUを内蔵した4200A-SCS型を使用し、4点共線プローブまたはファンデルポー法を使用して、抵抗率を簡単に測定します。含まれているテストではファンデルポー計算を自動的に反復して行い、貴重な研究時間を節約します。最高電流分解能が10aA、入力インピーダンスが>10­­­­16Ω超であるため、より正確な結果が得られます。

4200A-SCS型パラメータ・アナライザと4点共線プローブを使用した、半導体材料の比抵抗測定

4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用した、ファンデルポーおよびホール電圧測定

Resistivity of Materials
MOSFET Characterization

MOSFET特性評価

4200A-SCS型は、コンポーネントまたはウエハ内のテストを通じて、MOSデバイスの完全な特性評価に必要なすべての計測器を統合できます。MOSCapの酸化膜の厚さ、しきい値電圧、ドーピング濃度、可動イオン濃度などを含む、テストとプロジェクトが含まれています。これらのテストはすべて、計測器上でボタンをタッチするだけで実行できます。

4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用した、MOSキャパシタのC-V特性評価

データ・シート モジュール 概要 構成/見積り
データシート 4200-PA リモート・プリアンプ・モジュール 構成/見積り
データシート 4200-BTI-A 超高速BTIパッケージ 構成/見積り
データシート 4200-SMU ミディアム・パワー・ソースメータ・ユニット 構成/見積り
データシート 4200A-CVIV マルチスイッチ 構成/見積り
データシート 4201-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT 構成/見積り
データシート 4210-SMU ハイパワー・ソースメータ・ユニット 構成/見積り
データシート 4210-CVU 容量電圧ユニット 構成/見積り
データシート 4211-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT 構成/見積り
データシート 4215-CVU型 容量電圧ユニット 構成/見積り
データシート 4220-PGU 高電圧パルス・ジェネレータ・ユニット 構成/見積り
データシート 4225-PMU 超高速パルス・メジャー・ユニット 構成/見積り
データシート 4225-RPM リモート・プリアンプ/スイッチ・モジュール 構成/見積り