ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

4200A-SCS型があれば、半導体デバイス、材料、およびプロセス開発の研究や信頼性/障害解析の効率が大幅に改善されます。高性能パラメータ・アナライザを使用すると、電流-電圧(I-V)測定、容量-電圧(C-V)測定、超高速パルスI-V測定の同期が可能です。

電流-電圧
(I-V)レンジ

10aA~1A
0.2µV~210V

キャパシタンス-電圧
(C-V)レンジ

1kHz~10MHz
±30V DCバイアス

パルスI-V
レンジ

±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート

 

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

高速で信頼性の高いパラメータ解析

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電気特性評価にかかる時間を短縮するのは、簡単なことではありませんでした。4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用すると、信頼性の高い、優れた測定/解析機能を利用できるだけでなく、特性評価の複雑さやセットアップの手間が最大50%も軽減されます。さらに、テスト・ガイダンスなど、セルフ・ラーニング・ツールを内蔵しているため、誰にでも信頼性の高い測定結果が得られます。

特長

  • 測定ガイダンス・ビデオを内蔵(英語、中国語、日本語、韓国語)
  • ユーザによるカスタマイズが可能なアプリケーション・テストが豊富に提供されており、簡単なセットアップですぐにテストが可能
  • リアルタイムの自動パラメータ抽出、データのグラフ化、演算など豊富な機能を装備

測定、スイッチ、繰り返し。

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4200A-CVIV型マルチスイッチを使用すると、配線を変更したり、プローバ・チップを持ち上げることなく、I-V測定とC-V測定を自動的に切り替えられます。競合製品と異なり、4200A-CVIV型は4チャンネル・ディスプレイを備えており、手元で視覚的に解析を行えるため、予期しない測定結果が得られたときには、すばやくテストをセットアップし、簡単にトラブルシューティングできます。

特長

  • 配線を変えずに、任意のデバイス端子にC-V測定結果を転送
  • ユーザによるコンフィグレーションが可能な低電流機能
  • 出力チャンネル名のパーソナライズが可能
  • リアルタイムでテスト・ステータスの確認が可能

特性評価。カスタマイズ。そして、機能拡張

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4200A-SCS型は、カスタマイズ可能で、フル・アップグレードに対応しているため、半導体デバイス、新材料、アクティブ/パッシブ・コンポーネント、ウエハ・レベル信頼性、障害解析、電気化学やあらゆるタイプの試作品の電気特性評価が行えます。

特長

  • NBTI/PBTIのテスト
  • ランダム・テレグラフ・ノイズ
  • 不揮発性メモリ・デバイス
  • ポテンショスタット・アプリケーションのテスト

解析用プローバおよび温度コントローラの統合

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4200A-SCS型パラメータ・アナライザは、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、MicroManipulator、LakeShore Model 336 Cryogenic温度コントローラなど、数多くの手動/半自動ウエハ・プローバおよびCryogenic温度コントローラをサポートしています。

特長

  • "ポイント・アンド・クリック"の簡単なテスト・シーケンシング
  • プローバの機能をテストするための"手動"プローバ・モード
  • コマンドを削除しなくてもデバッグが可能なフェイル・プローバ・モード

 

型名

Model 電流-電圧(I-V)レンジ キャパシタンス-電圧(C-V)レンジ パルスI-Vレンジ List Price
4200A-SCS 10aA~1A
0.2µV~210V
1kHz~10MHz ±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート
構成/見積り
Model4200A-SCS
電流-電圧(I-V)レンジキャパシタンス-電圧(C-V)レンジパルスI-Vレンジ
10aA~1A<br/>0.2µV~210V1kHz~10MHz±40V(80Vp-p)、±800mA<br/>200MS/s、5nsサンプル・レート
Model 電流-電圧(I-V)レンジ キャパシタンス-電圧(C-V)レンジ パルスI-Vレンジ List Price
4200A-SCS 10aA~1A
0.2µV~210V
1kHz~10MHz ±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート
構成/見積り
Model4200A-SCS
電流-電圧(I-V)レンジキャパシタンス-電圧(C-V)レンジパルスI-Vレンジ
10aA~1A<br/>0.2µV~210V1kHz~10MHz±40V(80Vp-p)、±800mA<br/>200MS/s、5nsサンプル・レート

Semiconductor Reliability

Perform complex reliability tests while letting the 4200A-SCS take care of the complex coding. Included projects like Hot Carrier Injection Degradation (HCI) give you a jump start on device analysis.

Highlights

  • Combine DC I-V, C-V, and pulse measurements in one set of tests
  • Included support for many probe stations and external instruments
  • Easy to use cycling system allows repeat measurements without coding

C-V Measurement for High Impedance Applications

Use Keithley’s custom Very Low Frequency C-V Technique to analyze the capacitance of your high resistance sample. This technique is performed using only source measure unit (SMU) instruments but can be combined with a 4210-CVU to perform higher frequency measurements as well.

Highlights

  • .01 to 10 Hz frequency range with sensitivity of 1 pF to 10 nF
  • 3½-digit typical resolution, minimum typical of 10 fF

Non-volatile Memory

Put your new technologies to the test with thorough pulsed I-V characterization. The 4200A-SCS comes with support and ready-to-run tests for the latest in NVRAM technologies from floating gate flash to ReRAM and FeRAM. Dual sourcing and measuring capabilities in current and voltage allow both transient and I-V domain characterization.

VCSEL Testing

Multiple, concurrent source measure unit (SMU) instruments in the 4200A-SCS simplify your laser diode testing. Generate LIV (Light intensity-Current-Voltage) curves with connections to only a single box. Advanced probe station and switch support means you can use the same instrument for on-wafer production testing of individual diodes or entire arrays. SMUs can be configured for up to 21 W capabilities for a variety of continuous wave (CW) VCSEL applications.

Nanoscale Device Characterization

The integrated instrument capabilities of the 4200A-SCS simplify the measurement requirements in developing nanoscale electronics such as carbon nanotubes. Start your investigations from a preconfigured test project and expand your work from there. A pulsed source mode for SMUs helps reduce overheating problems can be combined with low voltage C-V and ultra-fast pulsed DC measurements in seconds.

Resistivity of Materials

Use a 4200A-SCS with integrated SMUs to easily measure resistivity using a four-point collinear probe or van der Pauw method. Included tests perform repetitive van der Pauw calculations automatically, saving you valuable research time. A maximum current resolution of 10aA and input impedance of >10­­­­16 ohms give you more accurate and precise results.

MOSFET Characterization

The 4200A-SCS can hold all the instruments necessary for full characterization of MOS devices through component or on-wafer testing. Included tests and projects solve for oxide thickness of a MOSCap, threshold voltages, doping concentration, mobile ion concentration, and more. All these tests can be run at the touch of a button from a single instrument box.

データ・シート 型名 概要 価格
データシート 4200A-SCS-PK1型
高分解能IV
210V/100mA、0.1fA分解能
MOSFETやCMOSなど、2~3端子デバイスの特性評価に対応 4200A-SCS-PK1パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMUモジュール2個
  • 4200-PAプリアンプ1個
  • 8101-PIVテスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート 4200A-SCS-PK2型
高分解能IVおよびCV
210V/100mA、0.1fA分解能、1kHz~10MHz
高K誘導体/ディープ・サブミクロンCMOSの特性評価に対応 4200A-SCS-PK2パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMUモジュール2個
  • 4200-PAプリアンプ1個
  • 4210-CVU容量電圧モジュール1個
  • 8101-PIVテスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート 4200A-SCS-PK3型
高分解能/高出力IV/CV
210V/1A、0.1 fA分解能、1kHz~10MHz
パワー・デバイス/高K誘導体/ディープ・サブミクロンCMOSデバイスの特性評価に対応 4200A-SCS-PK3パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMUモジュール2個
  • 4210-SMU2個
  • 4200-PAプリアンプ1個
  • 4210-CVU容量電圧モジュール1個
  • 8101-PIVテスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート 4200-BTI-A型
超高速NBTI/PBTI
最先端CMOSテクノロジのNBTIおよびPBTI測定に対応 4200-BTI-Aパッケージに含まれるもの:
  • 4225-PMU超高速I-Vモジュール1個
  • 4225-RPMリモート・プリアンプ/スイッチ・モジュール2個
  • 自動特性評価スイート(ACS)ソフトウェア
  • 超高速BTIテスト・プロジェクト・モジュール
  • ケーブル
見積り依頼

 

Data SheetModuleDescription
4200-BTI-A ULTRA FAST BTI PKG
4200-PA REMOTE PREAMPLIFIER MODULE
4200-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4200A-CVIV マルチスイッチ
4210-CVU CAPACITANCE-VOLTAGE UNIT
4210-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4220-PGU デュアル・チャンネル・パルス・ジェネレータ
4225-PMU ULTRA-FAST PULSE MEASURE UNIT
4225-RPM REMOTE PREAMPLIFIER/SWITCH MODULE
タイトルタイプ日付
Model 4200A-RM Rack Mount Kit Installation Instructions

This document contains installation instructions for the Model 4200A-RM Rack-Mount Kit, a fixed rack-mount kit for cabinet mounting of the Keithley 4200A-SCS Semiconductor Characterization System.

Model 4200A-RM Rack Mount Kit Installation Instructions


Part number: 071348701
19 Oct 2017
Modèle 4200A-SCS Liste d'Avertissements
List of documentation warnings for the Canadian market that are in both English and French.
Part number: 077126000
User 28 Aug 2017
Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System Declassification and Security Instructions
If you have data security concerns, this document tells you how to clear or sanitize the Keithley Instruments Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System's memory devices. It also explains how to declassify an instrument that is not functioning.
Part number: 077134300
Declassification 28 Aug 2017
Model 4200A-SCS Declassification and Security Instructions
If you have data security concerns, this document tells you how to clear or sanitize the Keithley Instruments Model 4200A-SCS Parameter Analyzer's memory devices. It also explains how to declassify an instrument that is not functioning.
Part number: 077126200
Declassification 28 Aug 2017
4200A-SCS Parameter Analyzer Release Notes
The 4200A-SCS Clarius+ software application suite is the initial release of the software for the 4200A-SCS. Clarius+ software requires Microsoft Windows 7 on your 4200A-SCS Parameter Analyzer
Part number: 077132601
Release Notes 28 Aug 2017
Model 4210-MMPC-C Multi-Measurement Prober Cable Kit Quick Start Guide
This multi-measurement cable set is a collection of standard and custom connectors and accessories used to take I-V, C-V, and pulsed I-V measurements using a single prober cable setup.
Part number: PA-1001D
User 28 Aug 2017
Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System Reference Manual
Model 4200-SCS Semiconductor Characterization Suite Reference Manual KTEI v9.0
Part number: 4200-901-01P
28 Aug 2017
KTE Interactive V9.1 Service Pack 2 Software Release Notes & Installation Instructions
This document provides supplemental information regarding KTE Interactive V9.1 Service Pack 2 (SP2). This information includes detailed instructions describing how to install this service pack and and summary of fixes and enhancements included in KTE…
Part number: PA-895R
Release Notes 28 Aug 2017
Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual
The Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual provides detailed instruction for the 4200A. It includes hardware information, such as connection information and SMU, PGU, PMU, and CVU descriptions. It also includes descriptions of the Clarius,…
Part number: 4200A-901-01C
Primary User 28 Aug 2017
Model 4200A Parameter Analyzer User's Manual
This User's Manual includes specific applications to help you get started quickly.
Part number: 4200A-900-01B
Primary User 28 Aug 2017
ダウンロード
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マニュアル、データシート、ソフトウェアなどのダウンロード:

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