ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

4200A-SCS型があれば、半導体デバイス、材料、プロセス開発の研究や信頼性/障害解析の効率が大幅に改善されます。 高性能パラメータ・アナライザを使用すると、電流-電圧(I-V)測定、容量-電圧(C-V)測定、超高速パルスI-V測定の同期が可能です。

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DC電流-電圧
(I-V)レンジ

10aA~1A
0.2µV~210V

容量-電圧
(C-V)レンジ

1kHz~10MHz
±30V DCバイアス

パルスI-V
レンジ

±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート

 

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

高速で信頼性の高いパラメータ解析

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電気特性評価にかかる時間を短縮するのは、簡単なことではありませんでした。 4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用すると、信頼性の高い、優れた測定/解析機能を利用できるだけでなく、特性評価の複雑さやセットアップの手間が最大50%も軽減されます。 さらに、テスト・ガイダンスなど、セルフ・ラーニング・ツールを内蔵しているため、誰にでも信頼性の高い測定結果が得られます。

特長

  • 測定ガイダンス・ビデオを内蔵(英語、中国語、日本語、韓国語)
  • ユーザによるカスタマイズが可能なアプリケーション・テストが豊富に提供されており、簡単なセットアップですぐにテストが可能
  • リアルタイムの自動パラメータ抽出、データのグラフ化、演算など豊富な機能を装備

測定、 スイッチ、 繰り返し。

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4200A-CVIV型マルチスイッチを使用すると、配線を変更したり、プローバ・チップを持ち上げることなく、I-V測定とC-V測定を自動的に切り替えられます。 競合製品と異なり、4200A-CVIV型は4チャンネル・ディスプレイを備えており、手元で視覚的に解析を行えるため、予期しない測定結果が得られたときには、すばやくテストをセットアップし、簡単にトラブルシューティングできます。

特長

  • 配線を変えずに、任意のデバイス端子にC-V測定結果を転送
  • ユーザによるコンフィグレーションが可能な低電流機能
  • 出力チャンネル名のパーソナライズが可能
  • リアルタイムでテスト・ステータスの確認が可能

特性評価。 カスタマイズ。 そして、機能拡張

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4200A-SCS型は、カスタマイズ可能で、フル・アップグレードに対応しているため、半導体デバイス、新材料、アクティブ/パッシブ・コンポーネント、ウエハ・レベル信頼性、障害解析、電気化学やあらゆるタイプの試作品の電気特性評価が行えます。

特長

  • NBTI/PBTIのテスト
  • ランダム・テレグラフ・ノイズ
  • 不揮発性メモリ・デバイス
  • ポテンショスタット・アプリケーションのテスト

解析用プローバおよび温度コントローラの統合

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4200A-SCS型パラメータ・アナライザは、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 Cryogenic温度コントローラなど、数多くの手動/半自動ウエハ・プローバおよびCryogenic温度コントローラをサポートしています。

特長

  • "ポイント・アンド・クリック"の簡単なテスト・シーケンシング
  • プローバの機能をテストするための"手動"プローバ・モード
  • コマンドを削除しなくてもデバッグが可能なフェイル・プローバ・モード

コスト削減、投資保護

ケースレー・ケア・プランは、従来のサービスに比べて低コストで迅速、高品質のサービスを提供します。 ワンクリックまたは電話連絡で修理工程が開始します。見積り、注文書発行は不要、承認(稟議、決済)手続きによって遅れが生じることもありません。

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データ・シート 型名 概要 価格
データシート 4200A-SCS-PK1型
高分解能IV
210V/100mA、0.1fA分解能
MOSFETやCMOSなど、2~3端子デバイスの特性評価に対応 4200A-SCS-PK1 パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMU型モジュール2個
  • 4200-PA型プリアンプ1個
  • 8101-PIV型テスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
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データシート 4200A-SCS-PK2型
高分解能IVおよびCV
210V/100mA、0.1fA分解能、1kHz~10MHz
高K誘導体/ディープ・サブミクロンCMOSの特性評価に対応 4200A-SCS-PK2 パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMU型モジュール2個
  • 4200-PA型プリアンプ1個
  • 4210-CVU型容量電圧モジュール1個
  • 8101-PIV型テスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート 4200A-SCS-PK3型
高分解能/高出力IV/CV
210V/1A、0.1fA分解能、1kHz~10MHz
パワー・デバイス/高K誘導体/ディープ・サブミクロンCMOSデバイスの特性評価に対応 4200A-SCS-PK3 パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMU型モジュール2個
  • 4210-SMU2個
  • 4200-PA型プリアンプ1個
  • 4210-CVU型容量電圧モジュール1個
  • 8101-PIV型テスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート 4200-BTI-A型
超高速NBTI/PBTI
最先端CMOSテクノロジのNBTIおよびPBTI測定に対応 4200-BTI-A パッケージに含まれるもの:
  • 4225-PMU超高速I-Vモジュール1個
  • 4225-RPM型リモート・プリアンプ/スイッチ・モジュール2個
  • 自動特性評価スイート(ACS)ソフトウェア
  • 超高速BTIテスト・プロジェクト・モジュール
  • ケーブル
見積り依頼

半導体の信頼性

4200A-SCS型が複雑なコーディングに対応している間に、複雑な信頼性テストを実施します。 Hot Carrier Injection Degradation(HCI)のようなプロジェクトでは、デバイス解析が格段に変わります。

特長

  • DC I-V、C-V、パルス測定を1セットのテストにまとめる
  • 多くのプローブ・ステーションと外部機器に対応
  • 使いやすいサイクリング・システムにより、コーディングせずに繰り返し測定が可能

高インピーダンス・アプリケーションのC-V測定

ケースレーのカスタム低周波数C-Vテクニックを使用して、高抵抗サンプルの静電容量を分析します。 この手法は、SMU(ソース・メジャー・ユニット)機器のみを使用して実行されますが、4210-CVU型と組み合わせることで、より高い周波数も計測できます。

特長

  • 1pF~10 nFの感度を伴う0.01~10Hzの周波数レンジ
  • 3.5桁の一般的な解像度、10fFの一般的な最小値

不揮発性メモリ

完全にパルス化されたI-V特性評価を使用して、新技術をテスト段階に引き上げましょう。 4200A-SCS型には、フローティング・ゲート・フラッシュからReRAMおよびFeRAMまでの最新のNVRAMテクノロジをサポートし、すぐに実行できるテストが付属しています。 電流と電圧のデュアル供給と測定機能により、トランジェントとI-Vドメインの両方の特性評価が可能です。

VCSELのテスト

4200A-SCS型の複数の同時SMU(ソース・メジャー・ユニット)機器で、レーザ・ダイオード・テストを簡素化します。 1つのボックスにのみ接続するLIV(光強度 - 電流 - 電圧)曲線を生成します。 高度なプローブ・ステーションとスイッチをサポートすることで、個々のダイオードまたは配列全体のウエハ上での製造テストに、同じ機器を使用できます。 SMUは、さまざまな連続波(CW)VCSELアプリケーションに対して最大21Wの能力に設定することができます。

ナノスケール・デバイスの特性評価

4200A-SCS型の統合計測器機能は、カーボン・ナノチューブなどのナノスケール・エレクトロニクスの開発における測定要件を簡素化します。 事前に設定されたテスト・プロジェクトから調査を開始し、そこから作業を展開します。 SMUのパルス・ソース・モードは低電圧C-Vと超短パルスDC測定を数秒で組み合わせ、過熱問題の低減に役立ちます。

材料の比抵抗

SMUを内蔵した4200A-SCS型を使用し、4点共線プローブまたはファンデルポー法を使用して、抵抗率を簡単に測定します。含まれているテストではファンデルポー計算を自動的に反復して行い、貴重な研究時間を節約します。最大電流分解能が10aA、入力インピーダンスが10­­­­16Ω超であるため、より正確な結果が得られます。

MOSFET特性評価

4200A-SCSは、コンポーネントまたはウエハ内のテストを通じて、MOSデバイスの完全な特性評価に必要なすべての計測器を保持できます。 MOSCapの酸化膜の厚さ、しきい値電圧、ドーピング濃度、可動イオン濃度などを含む、テストとプロジェクトが含まれています。 これらのテストはすべて、単一の計測器ボックスからボタンをタッチして実行できます。

データ・シート モジュール 概要 構成/見積り
4200-BTI-A 超高速BTIパッケージ 構成/見積り
4200-PA リモート・プリアンプ・モジュール 構成/見積り
4200-SMU ミディアム・パワー・ソースメータ・ユニット 構成/見積り
4200A-CVIV I-V/C-Vマルチスイッチ・モジュール 構成/見積り
4210-CVU 容量電圧ユニット 構成/見積り
4210-SMU ハイパワー・ソースメータ・ユニット 構成/見積り
4220-PGU 高電圧パルス・ジェネレータ・ユニット 構成/見積り
4225-PMU 超高速パルス・メジャー・ユニット 構成/見積り
4225-RPM リモート・プリアンプ/スイッチ・モジュール 構成/見積り
4200-SMU-R FIELD REPLACEABLE MPSMU 構成/見積り
4210-SMU-R FIELD REPLACEABLE HPSMU 構成/見積り
タイトルタイプ
4200A-SCSパラメータアナライザでのMOSFETのゲート電荷測定
このアプリケーションノートでは、4200A-SCSパラメータアナライザによるJEDECゲート電荷テスト方法に基づいたMOSFETのゲート電荷を測定する方法について説明します。
Literature number: 1KW-61388-0
アプリケーション・ノート 02 Oct 2018
有機FETのDC IV及びACインピーダンス測定
このアプリケーションノートでは、4200A-SCSパラメータアナライザを使用して、OFETでDC I-VおよびACインピーダンス測定を最適化する方法の概要を説明します。 最良の結果を得るためのタイミングパラメータ、ノイズ低減、シールド、適切なケーブル配線、およびその他の重要な測定上の注意事項について説明します。
Literature number: 1KZ-61313-0
アプリケーション・ノート 11 Jun 2018
4200A-SCS Parameter Analyzer Datasheet

Literature number: 1KW-60780-2
データシート 10 Jun 2018
CVとIVの切り替え測定
4200A型 半導体パラメータ・アナライザと 4200A-CVIV型 マルチスイッチを使った簡単な切り替え方法をご紹介します。
Literature number: 1KW-60635-0
アプリケーション・ノート 28 Nov 2017
Model4200-CVU-PWR C-V パワーパッケージを用いた 4200A-SCS半導体特性評価システムでの 高電圧及び高電流CV測定
This application note explains how to implement and optimize high voltage C-V tests using the Keithley 4200A-SCS, 4210-CVU, and 4200-CVU-PWR C-V Power Package.
Literature number: 1KW-60637-0
アプリケーション・ノート 27 Nov 2017
4200型半導体パラメータアナライザでのランプレート法を用いた準静的CV測定
アプリケーション・ノート 08 Aug 2017
4200半導体パラメータアナライザを用いた光起電材料や太陽電池の電気的特性評価
アプリケーション・ノート 08 Aug 2017
電気特性評価をシンプルに - 4200A-SCS型 パラメータ・アナライザ

Literature number: 1KZ-60869-0
特長 01 Jun 2017
TECHNIQUES FOR MEASURING RESISTIVITY FOR MATERIALS CHARACTERIZATION
4200A-SCS PARAMATER ANALYZER APPLICATIONS GUIDEThis Materials Characterization Applications Guide offers tips and techniques for choosing between the Four-Point Collinear Probe or van Der Pauw methods for your resistivity measurements based on the type, shape, and thickness of your material and the…
Literature number: 1KW-60826-0
アプリケーション・ノート 02 Aug 2016
Measuring MOSFET Gate Charge with the 4200A-SCS Parameter Analyzer
This application note describes how to measure gate charge on a MOSFET based on the JEDEC Gate Charge Test Method using the 4200A-SCS Parameter Analyzer.
Literature number: 1KW-61388-0
Application Note 02 Oct 2018
Model 4200A-RM Rack Mount Kit Installation Instructions Model 4200A-RM Rack Mount Kit Installation Instructions
This document contains installation instructions for the Model 4200A-RM Rack-Mount Kit, a fixed rack-mount kit for cabinet mounting of the Keithley 4200A-SCS Semiconductor Characterization System.
Part number: 071348701
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.5
This version of Clarius+ is only supported on Microsoft Windows 10. If installed on the 4200A-SCS system with a Clarius+ release prior to V1.4, contact Keithley, a Tektronix company, at tek.com to upgrade the parameter analyzer.If installing on a personal…
Part number: 4200A-CLARIUS-V1.5
Application
Model 4200A-SCS Clarius V1.5 Software Release Notes The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-SCS.…
Part number: 077132606
Model 4200A-CVIV Multi-Switch User‚s Manual User‚s manual for the 4200A CV-IV multi-switch.
The Keithley Instruments Model 4200A-CVIV Multi-Switch User‚s Manual provides detailed product, connection, accessory, application, and Clarius+ software information.
Part number: 4200A-CVIV-900-01C
Primary User
Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual The Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual provides detailed instruction…The Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual provides detailed instruction for the 4200A. It includes hardware information, such as connection information and SMU, PGU, PMU, and CVU descriptions. It also includes descriptions of the Clarius,…
Part number: 4200A-901-01E
Primary User
DC I-V and AC Impedance Testing of Organic FETs
This application note outlines how to optimize DC I-V and AC impedance measurements on OFETs using the 4200A-SCS Parameter Analyzer. Timing parameters, noise reduction, shielding, proper cabling, and other important measurement considerations for…
Literature number: 1KZ-61313-0
Application Note 11 Jun 2018
4200A-SCS Parameter Analyzer Datasheet

Literature number: 1KW-60780-4
データシート
Keithley Instrumentation for Electrochemical Test Methods and Applications
This application note discusses a variety of electrochemical applications, including voltammetry, low and high resistivity measurements, battery test, potentiometry, electrodeposition, electrical device characterization, and other tests that involve…
Literature number: 1KW-60158-1
Application Note 25 Apr 2018
Using the 4200A-CVIV Multi-Switch to Make High Voltage and High Current C-V Measurements
This application note explains the implementation of the bias tee modes of the 4200A-CVIV to make high voltage C-V measurement. It assumes the reader is familiar with making C-V measurements with the Keithley 4200A-SCS using the CVIV.
Literature number: 1KW-61356-0
Application Note 17 Apr 2018
Switch Time between Pulse IV and CV measurements using the 4225-RPM.
The RPM eliminates the need to re-cable and increases switching speed between Pulsed IV and CV measurements.  However, we do not specify the switching time for the RPMs in the data sheets. A simple test using a MDO3102 yeided the below approximate switch…
FAQ ID: 469646 16 Apr 2018
Simplifying MOSFET and MOSCAP Device Characterization e-Guide
Answering Your Questions on Tools and TechniquesThis e-guide answers some common questions about making better semiconductor measurements, with a focus on DC I-V and capacitance-voltage (C-V) measurements. It also touches on more specific applications and how you can simplify making the measurements…
Literature number: 1KW-60780-1
Brochure 12 Apr 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.4.1
This version of Clarius+ is only supported on Microsoft Windows 10. If installed on the 4200A-SCS system with a Clarius+ release prior to V1.4, contact Keithley, a Tektronix company, at tek.com to upgrade the parameter analyzer.If installing on a personal…
Part number: 4200A-CLARIUS-V1.4.1
Application
Model 4200A-SCS Clarius V1.4.1 Software Release Notes The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-SCS.…
Part number: 077132605
Upgrade Your 4200-SCS System and Protect Your Investment
Upgrade your 4200-SCS Parameter Analyzer to the 4200A-SCS - the industry's highest performance analyzer - and accelerate I-V, C-V, and ultra-fast pulsed I-V testing of your complex devices for materials research, semiconductor device design, process…
Literature number: 1KW-60873-1
Fact Sheet 22 Feb 2018
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