ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

4200A-SCS型があれば、半導体デバイス、材料、およびプロセス開発の研究や信頼性/障害解析の効率が大幅に改善されます。 高性能パラメータ・アナライザを使用すると、電流-電圧(I-V)測定、容量-電圧(C-V)測定、超高速パルスI-V測定の同期が可能です。

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電流-電圧
(I-V)レンジ

10aA~1A
0.2µV~210V

キャパシタンス-電圧
(C-V)レンジ

1kHz~10MHz
±30V DCバイアス

パルスI-V
範囲

±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート

 

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

高速で信頼性の高いパラメータ解析

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電気特性評価にかかる時間を短縮するのは、簡単なことではありませんでした。 4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用すると、信頼性の高い、優れた測定/解析機能を利用できるだけでなく、特性評価の複雑さやセットアップの手間が最大50%も軽減されます。 さらに、テスト・ガイダンスなど、セルフ・ラーニング・ツールを内蔵しているため、誰にでも信頼性の高い測定結果が得られます。

特長

  • 測定ガイダンス・ビデオを内蔵(英語、中国語、日本語、韓国語)
  • ユーザによるカスタマイズが可能なアプリケーション・テストが豊富に提供されており、簡単なセットアップですぐにテストが可能
  • リアルタイムの自動パラメータ抽出、データのグラフ化、演算など豊富な機能を装備

測定、 スイッチ、 繰り返し。

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4200A-CVIV型マルチスイッチを使用すると、配線を変更したり、プローバ・チップを持ち上げることなく、I-V測定とC-V測定を自動的に切り替えられます。 競合製品と異なり、4200A-CVIV型は4チャンネル・ディスプレイを備えており、手元で視覚的に解析を行えるため、予期しない測定結果が得られたときには、すばやくテストをセットアップし、簡単にトラブルシューティングできます。

特長

  • 配線を変えずに、任意のデバイス端子にC-V測定結果を転送
  • ユーザによるコンフィグレーションが可能な低電流機能
  • 出力チャンネル名のパーソナライズが可能
  • リアルタイムでテスト・ステータスの確認が可能

特性評価。 カスタマイズ。 そして、機能拡張

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4200A-SCS型は、カスタマイズ可能で、フル・アップグレードに対応しているため、半導体デバイス、新材料、アクティブ/パッシブ・コンポーネント、ウエハ・レベル信頼性、障害解析、電気化学やあらゆるタイプの試作品の電気特性評価が行えます。

特長

  • NBTI/PBTIのテスト
  • ランダム・テレグラフ・ノイズ
  • 不揮発性メモリ・デバイス
  • ポテンショスタット・アプリケーションのテスト

解析用プローバおよび温度コントローラの統合

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4200A-SCS型パラメータ・アナライザは、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、MicroManipulator、LakeShore Model 336 Cryogenic温度コントローラなど、数多くの手動/半自動ウエハ・プローバおよびCryogenic温度コントローラをサポートしています。

特長

  • "ポイント・アンド・クリック"の簡単なテスト・シーケンシング
  • プローバの機能をテストするための"手動"プローバ・モード
  • コマンドを削除しなくてもデバッグが可能なフェイル・プローバ・モード

 

型名

型名 電流-電圧(I-V)レンジ キャパシタンス-電圧(C-V)レンジ パルスI-Vレンジ 価格
4200A-SCS 10aA~1A
0.2µV~210V
1kHz~10MHz ±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート
構成/見積り
型名4200A-SCS
電流-電圧(I-V)レンジキャパシタンス-電圧(C-V)レンジパルスI-Vレンジ
10aA~1A<br/>0.2µV~210V1kHz~10MHz±40V(80Vp-p)、±800mA<br/>200MS/s、5nsサンプル・レート
型名 電流-電圧(I-V)レンジ キャパシタンス-電圧(C-V)レンジ パルスI-Vレンジ 価格
4200A-SCS 10aA~1A
0.2µV~210V
1kHz~10MHz ±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート
構成/見積り
型名4200A-SCS
電流-電圧(I-V)レンジキャパシタンス-電圧(C-V)レンジパルスI-Vレンジ
10aA~1A<br/>0.2µV~210V1kHz~10MHz±40V(80Vp-p)、±800mA<br/>200MS/s、5nsサンプル・レート

半導体の信頼性

4200A-SCS型が複雑なコーディングに対応している間に、複雑な信頼性テストを実施します。Hot Carrier Injection Degradation(HCI)のようなプロジェクトでは、デバイス解析が格段に変わります。

特長

  • DC I-V、C-V、パルス測定を1セットのテストにまとめる
  • 多くのプローブ・ステーションと外部機器に対応
  • 使いやすいサイクリング・システムにより、コーディングせずに繰り返し測定が可能

高インピーダンス・アプリケーションのC-V測定

ケースレーのカスタム低周波数C-Vテクニックを使用して、高抵抗サンプルの静電容量を分析します。この手法は、SMU(ソース・メジャー・ユニット)機器のみを使用して実行されますが、4210-CVU型と組み合わせることで、より高い周波数も計測できます。

特長

  • 1pF~10 nFの感度を伴う0.01~10Hzの周波数レンジ
  • 3.5桁の一般的な解像度、10fFの一般的な最小値

不揮発性メモリ

完全にパルス化されたI-V特性評価を使用して、新技術をテスト段階に引き上げましょう。4200A-SCS型には、フローティング・ゲート・フラッシュからReRAMおよびFeRAMまでの最新のNVRAMテクノロジをサポートし、すぐに実行できるテストが付属しています。電流と電圧のデュアル供給と測定機能により、トランジェントとI-Vドメインの両方の特性評価が可能です。

VCSELのテスト

4200A-SCS型の複数の同時SMU(ソース・メジャー・ユニット)機器で、レーザ・ダイオード・テストを簡素化します。1つのボックスにのみ接続するLIV(光強度 - 電流 - 電圧)曲線を生成します。高度なプローブ・ステーションとスイッチをサポートすることで、個々のダイオードまたは配列全体のウエハ上での製造テストに、同じ機器を使用できます。SMUは、さまざまな連続波(CW)VCSELアプリケーションに対して最大21Wの能力に設定することができます。

ナノスケール・デバイスの特性評価

4200A-SCS型の統合計測器機能は、カーボン・ナノチューブなどのナノスケール・エレクトロニクスの開発における測定要件を簡素化します。事前に設定されたテスト・プロジェクトから調査を開始し、そこから作業を展開します。SMUのパルス・ソース・モードは低電圧C-Vと超短パルスDC測定を数秒で組み合わせ、過熱問題の低減に役立ちます。

材料の比抵抗

SMUを内蔵した4200A-SCS型を使用し、4点共線プローブまたはファンデルポー法を使用して、抵抗率を簡単に測定します。含まれているテストではファンデルポー計算を自動的に反復して行い、貴重な研究時間を節約します。最大電流分解能が10aA、入力インピーダンスが10­­­­16Ω超であるため、より正確な結果が得られます。

MOSFET特性評価

4200A-SCSは、コンポーネントまたはウエハ内のテストを通じて、MOSデバイスの完全な特性評価に必要なすべての計測器を保持できます。MOSCapの酸化膜の厚さ、しきい値電圧、ドーピング濃度、可動イオン濃度などを含む、テストとプロジェクトが含まれています。これらのテストはすべて、単一の計測器ボックスからボタンをタッチして実行できます。

データ・シート 型名 概要 価格
データシート に含まれるもの:
高分解能IV
210V/100mA、0.1fA分解能
MOSFETやCMOSなど、2~3端子デバイスの特性評価に対応 4200A-SCS-PK1 パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMU型モジュール2個
  • 4200-PA型プリアンプ1個
  • 8101-PIV型テスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート 4200A-SCS-PK2
高分解能IVおよびCV
210V/100mA、0.1fA分解能、1kHz~10MHz
高K誘導体/ディープ・サブミクロンCMOSの特性評価に対応 4200A-SCS-PK2 パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMU型モジュール2個
  • 4200-PA型プリアンプ1個
  • 4210-CVU型容量電圧モジュール1個
  • 8101-PIV型テスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート 4200A-SCS-PK3型
高分解能/高出力IV/CV
210V/1A、0.1fA分解能、1kHz~10MHz
パワー・デバイス/高K誘導体/ディープ・サブミクロンCMOSデバイスの特性評価に対応 4200A-SCS-PK3 パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMU型モジュール2個
  • 4210-SMU2個
  • 4200-PA型プリアンプ1個
  • 4210-CVU型容量電圧モジュール1個
  • 8101-PIV型テスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート に含まれるもの:
超高速NBTI/PBTI
最先端CMOSテクノロジのNBTIおよびPBTI測定に対応 4200-BTI-A パッケージに含まれるもの:
  • 4225-PMU超高速I-Vモジュール1個
  • 4225-RPM型リモート・プリアンプ/スイッチ・モジュール2個
  • 自動特性評価スイート(ACS)ソフトウェア
  • 超高速BTIテスト・プロジェクト・モジュール
  • ケーブル
見積り依頼

 

Data SheetModule概要Configure and Quote
に含まれるもの: 超高速BTIパッケージ 構成/見積り
4200-PA リモート・プリアンプ・モジュール 構成/見積り
4200-SMU ミディアム・パワー・ソースメータ・ユニット 構成/見積り
4200A-CVIV マルチスイッチ 構成/見積り
4210-CVU 容量電圧ユニット 構成/見積り
4210-SMU ハイパワー・ソースメータ・ユニット 構成/見積り
4220-PGU 高電圧パルス・ジェネレータ・ユニット 構成/見積り
4225-PMU 超高速パルス・メジャー・ユニット 構成/見積り
4225-RPM リモート・プリアンプ/スイッチ・モジュール 構成/見積り
に含まれるもの: 超高速BTIパッケージ 構成/見積り
に含まれるもの: 超高速BTIパッケージ 構成/見積り
タイトルタイプ日付
Upgrade Your 4200-SCS System and Protect Your Investment
Upgrade your 4200-SCS Parameter Analyzer to the 4200A-SCS - the industry's highest performance analyzer - and accelerate I-V, C-V, and ultra-fast pulsed I-V testing of your complex devices for materials research, semiconductor device design, process…
Literature number: 1KW-60873-1
Fact Sheet 22 Feb 2018
Does the 4200A-SCS support ICCAP?
Although the 4200ICCAP-6.0 driver is obsolete, the 4200A is ICCAP supported through the KXCI software.  The 4200 drivers in the KXCI software come with ICCAP in them and all KXCI programs for the 4200 are compatible with the 4200A. Note: ICCAP only…
FAQ ID: 255351 09 Feb 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.4
This version of Clarius+ is ONLY supported on Microsoft Windows 10. If installed on the 4200A-SCS, contact Keithley, a Tektronix company, at Tek.com to upgrade the parameter analyzer. If installing on a personal computer, ensure Windows 10 is the…
Part number: 4200A-CLARIUS-V1.4
Application 07 Feb 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.3

Part number: 4200A-CLARIUS-V1.3
Application 07 Feb 2018
Does Model 4200A-SCS support Model 590-CV meter like the Model 4200-SCS?
The Model 590-CV is a stand alone CV meter and can be controlled from either the 4200A-SCS and 4200-SCS using the KIXI (remote interface software).
FAQ ID: 249356 25 Jan 2018
Resettable fuse on the interlock circuit for model 4200A-SCS.
Yes, there is a resettable fuse. It takes several minutes to reset, please give it some time.This is discussed on page 4 and 5 of the included application note. Here is a link to the application note on the Tek website: https://www.tek.com/document/…
FAQ ID: 248681 22 Jan 2018
I have lost the device library on the 4200A-SCS.
The best way to get the library back is to re-install Clarius the their system. It’s free from our Tek.com website. Here is the link :https://www.tek.com/software/clarius/1-3
FAQ ID: 247546 18 Jan 2018
Simplifying MOSFET and MOSCAP Device Characterization e-Guide
Answering Your Questions on Tools and TechniquesThis e-guide answers some common questions about making better semiconductor measurements, with a focus on DC I-V and capacitance-voltage (C-V) measurements. It also touches on more specific applications and how you can simplify making the measurements…
Literature number: 1KW-60780-1
Brochure 16 Jan 2018
Model 4200A-SCS Clarius V1.3 Software Release Notes The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-SCS.…
Part number: 077132603
09 Jan 2018
Model 4200A-SCS Clarius V1.4 Software Release Notes The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-SCS.…
Part number: 077132604
08 Jan 2018
ダウンロード
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マニュアル、データシート、ソフトウェアなどのダウンロード:

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