ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

4200A-SCS型があれば、半導体デバイス、材料、およびプロセス開発の研究や信頼性/障害解析の効率が大幅に改善されます。高性能パラメータ・アナライザを使用すると、電流-電圧(I-V)測定、容量-電圧(C-V)測定、超高速パルスI-V測定の同期が可能です。

電流-電圧
(I-V)レンジ

10aA~1A
0.2µV~210V

キャパシタンス-電圧
(C-V)レンジ

1kHz~10MHz
±30V DCバイアス

パルスI-V
レンジ

±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート

 

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

高速で信頼性の高いパラメータ解析

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電気特性評価にかかる時間を短縮するのは、簡単なことではありませんでした。4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用すると、信頼性の高い、優れた測定/解析機能を利用できるだけでなく、特性評価の複雑さやセットアップの手間が最大50%も軽減されます。さらに、テスト・ガイダンスなど、セルフ・ラーニング・ツールを内蔵しているため、誰にでも信頼性の高い測定結果が得られます。

特長

  • 測定ガイダンス・ビデオを内蔵(英語、中国語、日本語、韓国語)
  • ユーザによるカスタマイズが可能なアプリケーション・テストが豊富に提供されており、簡単なセットアップですぐにテストが可能
  • リアルタイムの自動パラメータ抽出、データのグラフ化、演算など豊富な機能を装備

測定、スイッチ、繰り返し。

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4200A-CVIV型マルチスイッチを使用すると、配線を変更したり、プローバ・チップを持ち上げることなく、I-V測定とC-V測定を自動的に切り替えられます。競合製品と異なり、4200A-CVIV型は4チャンネル・ディスプレイを備えており、手元で視覚的に解析を行えるため、予期しない測定結果が得られたときには、すばやくテストをセットアップし、簡単にトラブルシューティングできます。

特長

  • 配線を変えずに、任意のデバイス端子にC-V測定結果を転送
  • ユーザによるコンフィグレーションが可能な低電流機能
  • 出力チャンネル名のパーソナライズが可能
  • リアルタイムでテスト・ステータスの確認が可能

特性評価。カスタマイズ。そして、機能拡張

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4200A-SCS型は、カスタマイズ可能で、フル・アップグレードに対応しているため、半導体デバイス、新材料、アクティブ/パッシブ・コンポーネント、ウエハ・レベル信頼性、障害解析、電気化学やあらゆるタイプの試作品の電気特性評価が行えます。

特長

  • NBTI/PBTIのテスト
  • ランダム・テレグラフ・ノイズ
  • 不揮発性メモリ・デバイス
  • ポテンショスタット・アプリケーションのテスト

解析用プローバおよび温度コントローラの統合

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4200A-SCS型パラメータ・アナライザは、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、MicroManipulator、LakeShore Model 336 Cryogenic温度コントローラなど、数多くの手動/半自動ウエハ・プローバおよびCryogenic温度コントローラをサポートしています。

特長

  • "ポイント・アンド・クリック"の簡単なテスト・シーケンシング
  • プローバの機能をテストするための"手動"プローバ・モード
  • コマンドを削除しなくてもデバッグが可能なフェイル・プローバ・モード

 

Model 電流-電圧(I-V)レンジ キャパシタンス-電圧(C-V)レンジ パルスI-Vレンジ List Price
4200A-SCS 10aA~1A
0.2µV~210V
1kHz~10MHz ±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート
構成/見積り
Model4200A-SCS
電流-電圧(I-V)レンジキャパシタンス-電圧(C-V)レンジパルスI-Vレンジ
10aA~1A<br/>0.2µV~210V1kHz~10MHz±40V(80Vp-p)、±800mA<br/>200MS/s、5nsサンプル・レート

Semiconductor Reliability

Perform complex reliability tests while letting the 4200A-SCS take care of the complex coding. Included projects like Hot Carrier Injection Degradation (HCI) give you a jump start on device analysis.

Highlights

  • Combine DC I-V, C-V, and pulse measurements in one set of tests
  • Included support for many probe stations and external instruments
  • Easy to use cycling system allows repeat measurements without coding

C-V Measurement for High Impedance Applications

Use Keithley’s custom Very Low Frequency C-V Technique to analyze the capacitance of your high resistance sample. This technique is performed using only source measure unit (SMU) instruments but can be combined with a 4210-CVU to perform higher frequency measurements as well.

Highlights

  • .01 to 10 Hz frequency range with sensitivity of 1 pF to 10 nF
  • 3½-digit typical resolution, minimum typical of 10 fF

Non-volatile Memory

Put your new technologies to the test with thorough pulsed I-V characterization. The 4200A-SCS comes with support and ready-to-run tests for the latest in NVRAM technologies from floating gate flash to ReRAM and FeRAM. Dual sourcing and measuring capabilities in current and voltage allow both transient and I-V domain characterization.

VCSEL Testing

Multiple, concurrent source measure unit (SMU) instruments in the 4200A-SCS simplify your laser diode testing. Generate LIV (Light intensity-Current-Voltage) curves with connections to only a single box. Advanced probe station and switch support means you can use the same instrument for on-wafer production testing of individual diodes or entire arrays. SMUs can be configured for up to 21 W capabilities for a variety of continuous wave (CW) VCSEL applications.

Nanoscale Device Characterization

The integrated instrument capabilities of the 4200A-SCS simplify the measurement requirements in developing nanoscale electronics such as carbon nanotubes. Start your investigations from a preconfigured test project and expand your work from there. A pulsed source mode for SMUs helps reduce overheating problems can be combined with low voltage C-V and ultra-fast pulsed DC measurements in seconds.

Resistivity of Materials

Use a 4200A-SCS with integrated SMUs to easily measure resistivity using a four-point collinear probe or van der Pauw method. Included tests perform repetitive van der Pauw calculations automatically, saving you valuable research time. A maximum current resolution of 10aA and input impedance of >10­­­­16 ohms give you more accurate and precise results.

MOSFET Characterization

The 4200A-SCS can hold all the instruments necessary for full characterization of MOS devices through component or on-wafer testing. Included tests and projects solve for oxide thickness of a MOSCap, threshold voltages, doping concentration, mobile ion concentration, and more. All these tests can be run at the touch of a button from a single instrument box.

データ・シート 型名 概要 価格
データシート 4200A-SCS-PK1型
高分解能IV
210V/100mA、0.1fA分解能
MOSFETやCMOSなど、2~3端子デバイスの特性評価に対応 4200A-SCS-PK1パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMUモジュール2個
  • 4200-PAプリアンプ1個
  • 8101-PIVテスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート 4200A-SCS-PK2型
高分解能IVおよびCV
210V/100mA、0.1fA分解能、1kHz~10MHz
高K誘導体/ディープ・サブミクロンCMOSの特性評価に対応 4200A-SCS-PK2パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMUモジュール2個
  • 4200-PAプリアンプ1個
  • 4210-CVU容量電圧モジュール1個
  • 8101-PIVテスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート 4200A-SCS-PK3型
高分解能/高出力IV/CV
210V/1A、0.1 fA分解能、1kHz~10MHz
パワー・デバイス/高K誘導体/ディープ・サブミクロンCMOSデバイスの特性評価に対応 4200A-SCS-PK3パッケージに含まれるもの:
  • 4200A-SCS型パラメータ・アナライザ
  • 4200-SMUモジュール2個
  • 4210-SMU2個
  • 4200-PAプリアンプ1個
  • 4210-CVU容量電圧モジュール1個
  • 8101-PIVテスト・フィクスチャ1個(サンプル・デバイス付き)
見積り依頼
データシート 4200-BTI-A型
超高速NBTI/PBTI
最先端CMOSテクノロジのNBTIおよびPBTI測定に対応 4200-BTI-Aパッケージに含まれるもの:
  • 4225-PMU超高速I-Vモジュール1個
  • 4225-RPMリモート・プリアンプ/スイッチ・モジュール2個
  • 自動特性評価スイート(ACS)ソフトウェア
  • 超高速BTIテスト・プロジェクト・モジュール
  • ケーブル
見積り依頼

 

Data SheetModuleDescription
4200-BTI-A ULTRA FAST BTI PKG
4200-PA REMOTE PREAMPLIFIER MODULE
4200-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4200A-CVIV マルチスイッチ
4210-CVU CAPACITANCE-VOLTAGE UNIT
4210-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4220-PGU デュアル・チャンネル・パルス・ジェネレータ
4225-PMU ULTRA-FAST PULSE MEASURE UNIT
4225-RPM REMOTE PREAMPLIFIER/SWITCH MODULE
TitleTypeDate
4200A-SCS Parameter Analyzer Datasheet

Literature number: 1KW-60780-2
Datasheet 14 Sep 2017
Model 4200A-SCS-PK2 Parameter Analyzer Quick Start Guide
The Quick Start Guide for the Keithley Instruments 4200A-SCS-PK2 provides unpacking and basic connection information. It also provides sample tests that you can use to familiarize yourself with the Parameter Analyzer.
Part number: 4200A-PK2-903-01A
Primary User 28 Aug 2017
Model 4200A-SCS Package 3 System Quick Start Guide
The Quick Start Guide for the Keithley Instruments 4200A-SCS-PK3 provides unpacking and basic connection information. It also provides step-by-step examples to allow you to familiarize yourself with the Parameter Analyzer.
Part number: 4200A-PK3-903-01A
Primary User 28 Aug 2017
Model 4200A-SCS Semiconductor Characterization System Quick Start Guide
Brief introduction to the Keithley Instruments 4200A-SCS Parameter Analyzer, including unpacking and initial connection information.
Part number: 4200A-903-01A
Primary User 28 Aug 2017
Model 4200-Compiler Installation Instructions
Installation instructions for the Model 4200-Compiler, a compiler that you can use to create user modules for the 4200A-SCS Parameter Analyzer and the 4200-SCS.
Part number: PA-1030E
Combined User/Service 28 Aug 2017
Modèle 4200A-SCS Liste d'Avertissements
List of documentation warnings for the Canadian market that are in both English and French.
Part number: 077126000
User 28 Aug 2017
Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System Declassification and Security Instructions
If you have data security concerns, this document tells you how to clear or sanitize the Keithley Instruments Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System's memory devices. It also explains how to declassify an instrument that is not functioning.
Part number: 077134300
Declassification 28 Aug 2017
Model 4200A-SCS Declassification and Security Instructions
If you have data security concerns, this document tells you how to clear or sanitize the Keithley Instruments Model 4200A-SCS Parameter Analyzer's memory devices. It also explains how to declassify an instrument that is not functioning.
Part number: 077126200
Declassification 28 Aug 2017
4200A-SCS Parameter Analyzer Release Notes
The 4200A-SCS Clarius+ software application suite is the initial release of the software for the 4200A-SCS. Clarius+ software requires Microsoft Windows 7 on your 4200A-SCS Parameter Analyzer
Part number: 077132601
Release Notes 28 Aug 2017
Model 4210-MMPC-C Multi-Measurement Prober Cable Kit Quick Start Guide
This multi-measurement cable set is a collection of standard and custom connectors and accessories used to take I-V, C-V, and pulsed I-V measurements using a single prober cable setup.
Part number: PA-1001D
User 28 Aug 2017
ダウンロード
ダウンロード

マニュアル、データシート、ソフトウェアなどのダウンロード:

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