ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

4200A-SCS型があれば、半導体デバイス、材料、プロセス開発の研究や信頼性/障害解析の効率が大幅に改善されます。 高性能パラメータ・アナライザを使用すると、電流-電圧(I-V)測定、容量-電圧(C-V)測定、超高速パルスI-V測定の同期が可能です。

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電流-電圧
(I-V)レンジ

10aA~1A
0.2µV~210V

容量-電圧
(C-V)レンジ

1kHz~10MHz
±30V DCバイアス

パルスI-V
範囲

±40V(80Vp-p)、±800mA
200MS/s、5nsサンプル・レート

 

ケースレー4200A-SCS型パラメータ・アナライザ

高速で信頼性の高いパラメータ解析

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電気特性評価にかかる時間を短縮するのは、簡単なことではありませんでした。 4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用すると、信頼性の高い、優れた測定/解析機能を利用できるだけでなく、特性評価の複雑さやセットアップの手間が最大50%も軽減されます。 さらに、テスト・ガイダンスなど、セルフ・ラーニング・ツールを内蔵しているため、誰にでも信頼性の高い測定結果が得られます。

特長

  • 測定ガイダンス・ビデオを内蔵(英語、中国語、日本語、韓国語)
  • ユーザによるカスタマイズが可能なアプリケーション・テストが豊富に提供されており、簡単なセットアップですぐにテストが可能
  • リアルタイムの自動パラメータ抽出、データのグラフ化、演算など豊富な機能を装備

測定、 スイッチ、 繰り返し。

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4200A-CVIV型マルチスイッチを使用すると、配線を変更したり、プローバ・チップを持ち上げることなく、I-V測定とC-V測定を自動的に切り替えられます。 競合製品と異なり、4200A-CVIV型は4チャンネル・ディスプレイを備えており、手元で視覚的に解析を行えるため、予期しない測定結果が得られたときには、すばやくテストをセットアップし、簡単にトラブルシューティングできます。

特長

  • 配線を変えずに、任意のデバイス端子にC-V測定結果を転送
  • ユーザによるコンフィグレーションが可能な低電流機能
  • 出力チャンネル名のパーソナライズが可能
  • リアルタイムでテスト・ステータスの確認が可能

特性評価。 カスタマイズ。 そして、機能拡張

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4200A-SCS型は、カスタマイズ可能で、フル・アップグレードに対応しているため、半導体デバイス、新材料、アクティブ/パッシブ・コンポーネント、ウエハ・レベル信頼性、障害解析、電気化学やあらゆるタイプの試作品の電気特性評価が行えます。

特長

  • NBTI/PBTIのテスト
  • ランダム・テレグラフ・ノイズ
  • 不揮発性メモリ・デバイス
  • ポテンショスタット・アプリケーションのテスト

解析用プローバおよび温度コントローラの統合

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4200A-SCS型パラメータ・アナライザは、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 Cryogenic温度コントローラなど、数多くの手動/半自動ウエハ・プローバおよびCryogenic温度コントローラをサポートしています。

特長

  • "ポイント・アンド・クリック"の簡単なテスト・シーケンシング
  • プローバの機能をテストするための"手動"プローバ・モード
  • コマンドを削除しなくてもデバッグが可能なフェイル・プローバ・モード

 

半導体の信頼性

4200A-SCS型が複雑なコーディングに対応している間に、複雑な信頼性テストを実施します。 Hot Carrier Injection Degradation(HCI)のようなプロジェクトでは、デバイス解析が格段に変わります。

特長

  • DC I-V、C-V、パルス測定を1セットのテストにまとめる
  • 多くのプローブ・ステーションと外部機器に対応
  • 使いやすいサイクリング・システムにより、コーディングせずに繰り返し測定が可能

高インピーダンス・アプリケーションのC-V測定

ケースレーのカスタム低周波数C-Vテクニックを使用して、高抵抗サンプルの静電容量を分析します。 この手法は、SMU(ソース・メジャー・ユニット)機器のみを使用して実行されますが、4210-CVU型と組み合わせることで、より高い周波数も計測できます。

特長

  • 1pF~10 nFの感度を伴う0.01~10Hzの周波数レンジ
  • 3.5桁の一般的な解像度、10fFの一般的な最小値

不揮発性メモリ

完全にパルス化されたI-V特性評価を使用して、新技術をテスト段階に引き上げましょう。 4200A-SCS型には、フローティング・ゲート・フラッシュからReRAMおよびFeRAMまでの最新のNVRAMテクノロジをサポートし、すぐに実行できるテストが付属しています。 電流と電圧のデュアル供給と測定機能により、トランジェントとI-Vドメインの両方の特性評価が可能です。

VCSELのテスト

4200A-SCS型の複数の同時SMU(ソース・メジャー・ユニット)機器で、レーザ・ダイオード・テストを簡素化します。 1つのボックスにのみ接続するLIV(光強度 - 電流 - 電圧)曲線を生成します。 高度なプローブ・ステーションとスイッチをサポートすることで、個々のダイオードまたは配列全体のウエハ上での製造テストに、同じ機器を使用できます。 SMUは、さまざまな連続波(CW)VCSELアプリケーションに対して最大21Wの能力に設定することができます。

ナノスケール・デバイスの特性評価

4200A-SCS型の統合計測器機能は、カーボン・ナノチューブなどのナノスケール・エレクトロニクスの開発における測定要件を簡素化します。 事前に設定されたテスト・プロジェクトから調査を開始し、そこから作業を展開します。 SMUのパルス・ソース・モードは低電圧C-Vと超短パルスDC測定を数秒で組み合わせ、過熱問題の低減に役立ちます。

材料の比抵抗

SMUを内蔵した4200A-SCS型を使用し、4点共線プローブまたはファンデルポー法を使用して、抵抗率を簡単に測定します。含まれているテストではファンデルポー計算を自動的に反復して行い、貴重な研究時間を節約します。最大電流分解能が10aA、入力インピーダンスが10­­­­16Ω超であるため、より正確な結果が得られます。

MOSFET特性評価

4200A-SCSは、コンポーネントまたはウエハ内のテストを通じて、MOSデバイスの完全な特性評価に必要なすべての計測器を保持できます。 MOSCapの酸化膜の厚さ、しきい値電圧、ドーピング濃度、可動イオン濃度などを含む、テストとプロジェクトが含まれています。 これらのテストはすべて、単一の計測器ボックスからボタンをタッチして実行できます。

Data Sheet Module Description Configure and Quote
4200-BTI-A ULTRA FAST BTI PKG Configure & Quote
4200-PA REMOTE PREAMPLIFIER MODULE Configure & Quote
4200-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT Configure & Quote
4200A-CVIV I-V/C-V MULTI-SWITCH MODULE Configure & Quote
4210-CVU CAPACITANCE-VOLTAGE UNIT Configure & Quote
4210-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT Configure & Quote
4220-PGU HIGH VOLTAGE PULSE GENERATOR UNIT Configure & Quote
4225-PMU ULTRA-FAST PULSE MEASURE UNIT Configure & Quote
4225-RPM REMOTE PREAMPLIFIER/SWITCH MODULE Configure & Quote
4200-SMU-R FIELD REPLACEABLE MPSMU Configure & Quote
4210-SMU-R FIELD REPLACEABLE HPSMU Configure & Quote
タイトルタイプ日付
Keithley Instrumentation for Electrochemical Test Methods and Applications
This application note discusses a variety of electrochemical applications, including voltammetry, low and high resistivity measurements, battery test, potentiometry, electrodeposition, electrical device characterization, and other tests that involve…
Literature number: 1KW-60158-1
Application Note 25 Apr 2018
Using the 4200A-CVIV Multi-Switch to Make High Voltage and High Current C-V Measurements
This application note explains the implementation of the bias tee modes of the 4200A-CVIV to make high voltage C-V measurement. It assumes the reader is familiar with making C-V measurements with the Keithley 4200A-SCS using the CVIV.
Literature number: 1KW-61356-0
Application Note 17 Apr 2018
Switch Time between Pulse IV and CV measurements using the 4225-RPM.
The RPM eliminates the need to re-cable and increases switching speed between Pulsed IV and CV measurements.  However, we do not specify the switching time for the RPMs in the data sheets. A simple test using a MDO3102 yeided the below approximate switch…
FAQ ID: 469646 16 Apr 2018
Simplifying MOSFET and MOSCAP Device Characterization e-Guide
Answering Your Questions on Tools and TechniquesThis e-guide answers some common questions about making better semiconductor measurements, with a focus on DC I-V and capacitance-voltage (C-V) measurements. It also touches on more specific applications and how you can simplify making the measurements…
Literature number: 1KW-60780-1
Brochure 12 Apr 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.4.1
This version of Clarius+ is only supported on Microsoft Windows 10. If installed on the 4200A-SCS system with a Clarius+ release prior to V1.4, contact Keithley, a Tektronix company, at tek.com to upgrade the parameter analyzer.If installing on a personal…
Part number: 4200A-CLARIUS-V1.4.1
Application 28 Feb 2018
Model 4200A-SCS Clarius V1.4.1 Software Release Notes The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-SCS.…
Part number: 077132605
28 Feb 2018
Upgrade Your 4200-SCS System and Protect Your Investment
Upgrade your 4200-SCS Parameter Analyzer to the 4200A-SCS - the industry's highest performance analyzer - and accelerate I-V, C-V, and ultra-fast pulsed I-V testing of your complex devices for materials research, semiconductor device design, process…
Literature number: 1KW-60873-1
Fact Sheet 22 Feb 2018
Does the 4200A-SCS support ICCAP?
Although the 4200ICCAP-6.0 driver is obsolete, the 4200A is ICCAP supported through the KXCI software.  The 4200 drivers in the KXCI software come with ICCAP in them and all KXCI programs for the 4200 are compatible with the 4200A. Note: ICCAP only…
FAQ ID: 255351 09 Feb 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.3

Part number: 4200A-CLARIUS-V1.3
Application 07 Feb 2018
Does Model 4200A-SCS support Model 590-CV meter like the Model 4200-SCS?
The Model 590-CV is a stand alone CV meter and can be controlled from either the 4200A-SCS and 4200-SCS using the KIXI (remote interface software).
FAQ ID: 249356 25 Jan 2018
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